[發明專利]電子顯微鏡的第二聚光鏡

無效

• 申請號: 201110077557.1
• 申請日: 2011-03-29
• 公開（公告）號: CN102184828A
• 公開（公告）日: 2011-09-14
• 發明（設計）人: 董全林;姚駿恩;張春熹;張秀艷;孟凡念;崔永俊;遲悅;袁水平;楊彥杰;于成交
• 申請（專利權）人: 北京航空航天大學
• 主分類號: H01J37/21
• 分類號: H01J37/21;H01J37/26
• 代理公司: 北京凱特來知識產權代理有限公司 11260
• 代理人: 鄭立明;孟麗娟

1.一種電子顯微鏡的第二聚光鏡，其特征在于，包括：

外殼、下蓋板、磁環、磁路線圈、水套隔圈組件、墊圈、極靴組件、固定光闌組件和消象散組件；

所述外殼為兩端開口的圓環柱形空腔，下蓋板設置在所述外殼的下端開口處，與所述外殼固定連接，蓋住所述外殼的下端開口，下蓋板中間部位設有通孔；

所述磁環外面套裝磁路線圈，所述磁環和其外面套裝的磁路線圈均設置在所述外殼內，所述磁環的中間部位設有通孔；

所述水套隔圈組件設置在所述外殼內，設置在所述磁路線圈的下面，水套隔圈組件的下面為所述下蓋板，與所述下蓋板固定連接，所述水套隔圈組件的中間部位也設有通孔；

所述下蓋板、水套隔圈組件和磁環的通孔相連通，連通后的通孔內從上至下依次設置墊圈和極靴組件，所述墊圈和極靴組件內均設有通孔；

所述墊圈和極靴組件的通孔均相互連通，連通后的通孔內依次設置固定光闌組件和消象散組件。

2.根據權利要求1所述的電子顯微鏡的第二聚光鏡，其特征在于，所述磁環包括：

蓋體和中空環形柱體；

蓋體為圓形，其中心部位設置中空環形柱體，中空環形柱體的長度大于所述蓋體的厚度，所述蓋體設置在所述中空環形柱體的中間部位，中空環形柱體下端設有密封圈環槽，密封圈環槽內設有密封圈。

3.根據權利要求1所述的電子顯微鏡的第二聚光鏡，其特征在于，所述外殼、下蓋板和磁環均采用軟磁材料制成。

4.根據權利要求1所述的電子顯微鏡的第二聚光鏡，其特征在于，所述磁路線圈為圓環柱形，是由漆包線纏繞在線圈框上繞制而成的線圈；

所述線圈框為由上、下擋板和環形立柱構成的帶有環槽的結構體，所述漆包線繞制在線圈框的上、下擋板之間的環槽內。

5.根據權利要求1所述的電子顯微鏡的第二聚光鏡，其特征在于，所述水套隔圈組件包括：

水套本體、水套隔圈和水套隔板；

所述水套本體為環形槽結構，環形槽的中空部位設有連接磁環的環形凹臺，水套本體的環形槽側壁上分別設有進水孔和出水孔，在進水孔與出水孔之間的環槽內設置有水套隔板，水套隔板能將進水孔與出水孔分隔開，水套本體的環形槽的開口通過環形的水套隔圈覆蓋密封。

6.根據權利要求1所述的電子顯微鏡的第二聚光鏡，其特征在于，所述墊圈為環形帽狀結構，其中間部位設有通孔，通孔周圍的環壁上設有多個與極靴組件中的上極靴連接的螺釘孔。

7.根據權利要求1所述的電子顯微鏡的第二聚光鏡，其特征在于，所述極靴組件由依次連接的上極靴、隔圈和下極靴構成；其中，上極靴和下極靴均采用軟磁材料制成，上極靴、隔圈和下極靴均為環形中空柱，上極靴兩端、下極靴上端的端部均設有環形凸臺，上極靴、隔圈和下極靴連接時上極靴下端部的環形凸臺和下極靴上端部的環形凸臺分別嵌入到隔圈的中間部位的通孔內，上極靴、隔圈和下極靴的中空部分連通形成該極靴組件的通孔。

8.根據權利要求1所述的電子顯微鏡的第二聚光鏡，其特征在于，所述固定光闌組件包括：

固定光闌座、壓緊螺帽、墊圈二和固定光闌片；

固定光闌片通過墊圈二和壓緊螺帽設置在固定光闌座的底部，固定光闌片、墊圈二、壓緊螺帽和固定光闌座的中間部位均設有通孔，四者的通孔連通形成供電子束通過的通孔。

9.根據權利要求1所述的電子顯微鏡的第二聚光鏡，其特征在于，所述消象散組件包括：

套管、密封圈、消象散線圈和連接板；

連接板設置在下蓋板下面，與下蓋板固定連接，連接板中間部位設置通孔，所述套管一端設置在連接板的通孔內，套管與連接板的連接處設有密封圈三，套管的底端與連接板底面相平；套管上端內設置密封圈二，套管內設置消象散線圈；連接板的頂面設有環形槽，環形槽內設置密封圈。

10.根據權利要求1所述的電子顯微鏡的第二聚光鏡，其特征在于，所述消象散線圈包括：

多個板式線圈框、管狀內芯和多個線圈包；

多個板式線圈框呈陣列分布設置在管狀內芯外壁上，每個板式線圈框均沿管狀內芯軸向設置，每個板式線圈框均設置一個線圈包。