[發明專利]壓電元件及其制造方法、壓電致動器、液體噴射頭無效
| 申請號： | 201110077424.4 | 申請日： | 2011-03-24 |
| 公開（公告）號： | CN102222762A | 公開（公告）日： | 2011-10-19 |
| 發明（設計）人： | 中山雅夫;羽廣英樹 | 申請（專利權）人： | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號： | H01L41/047 | 分類號： | H01L41/047;H01L41/08;H01L41/22;B41J2/045;B41J2/135 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 李偉;閻文君 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓電 元件 及其 制造 方法 致動器 液體 噴射 | ||
1.一種壓電元件，具有由第一電極和第二電極夾持的壓電體層，
上述第一電極包括：第一導電層，其具有在上述壓電體層側的第一面；和第二導電層，其被形成于上述第一面上，并具有在上述第一面側的第二面，
在自上述第一面的法線方向觀察，將由相互重疊的上述第一電極、上述壓電體層和上述第二電極所構成的部分作為驅動部時，
上述第二導電層的至少一部分，被配置于比上述驅動部內的上述第一面的外周邊靠內側，
上述第二面的面積比上述驅動部內的上述第一面的面積小，
上述第二導電層以鎳酸鑭為主要成分。
2.根據權利要求1所述的壓電元件，其特征在于，
在將上述壓電體層中由上述第二導電層和上述第二電極夾持的部分作為第一部分時，
上述第一部分的(100)方向的取向率比上述壓電體層的除上述第一部分以外的第二部分的(100)方向的取向率大。
3.根據權利要求1或2所述的壓電元件，其特征在于，
上述壓電體層，在上述第一面的上方且在與上述第二導電層的端部鄰接的區域具有空孔。
4.根據權利要求1～3中任意一項所述的壓電元件，其特征在于，
上述第一導電層還具有：在上述第一面的相反側的第三面；和
將上述第一面和上述第三面連接的第四面，
上述第三面與上述第四面所形成的角度為50°以下。
5.一種壓電致動器，具有：
振動板；和
權利要求1～4中任意一項所述的壓電元件，其被配置于上述振動板上。
6.一種壓電致動器，其具有：
振動板；和
權利要求1～4中任意一項所述的壓電元件，其在上述振動板上，在第一方向上被配置了多個，
上述第一電極，在上述振動板上形成為在上述第一方向延伸，并成為多個上述壓電元件的公共電極，
上述壓電體層，在上述第一電極上形成為在與上述第一方向交叉的第二方向延伸，
上述第二電極，在上述壓電體層上形成為在上述第二方向延伸，且與上述第一電極的至少一部分重疊，
上述第二導電層的在上述第二方向上至少一側的端部，位于比上述驅動部內的上述第一面的外周邊靠內側的位置。
7.根據權利要求6所述的壓電致動器，其特征在于，
上述第二導電層的在上述第一方向上至少一側的端部，在上述第一面中位于比上述驅動部的邊界部分靠內側的位置。
8.一種壓電致動器，具有：
振動板；和
權利要求1～4中任意一項所述的壓電元件，其在上述振動板上，在第一方向上被配置了多個，
上述第一電極，在上述振動板上形成為在與上述第一方向交叉的第二方向延伸，
上述壓電體層，形成為在上述第二方向延伸，且在上述振動板的上方覆蓋上述第一電極，
上述第二電極，在上述壓電體層上形成為與上述第一電極至少一部分重疊，且成為多個上述壓電元件的公共電極，
上述第二導電層的在上述第二方向上至少一側的端部，位于比上述驅動部內的上述第一面的外周邊靠內側的位置。
9.根據權利要求8所述的壓電致動器，其特征在于，
上述第二導電層的在上述第一方向上的至少一側的端部，位于比上述驅動部內的上述第一面的外周邊靠內側的位置。
10.一種液體噴射頭，其包含權利要求5～9中任意一項所述的壓電致動器。
11.一種液體噴射裝置，其包含權利要求10所述的液體噴射頭。
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