[發明專利]被處理體的支撐機構、支撐方法及搬運系統

有效

• 申請號: 201110075819.0
• 申請日: 2011-03-23
• 公開（公告）號: CN102214593A
• 公開（公告）日: 2011-10-12
• 發明（設計）人: 鹿山透;野口忠隆;豐田昭仁;草間義裕
• 申請（專利權）人: 株式會社安川電機
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/00;H01L21/677
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 李雪春;武玉琴

1.一種被處理體的支撐機構，是在與搬運被處理體的搬運手臂之間交接所述被處理體的支撐機構，其特征在于，

具備N組單元，N是至少3以上的整數，該單元包括：

升降銷，與所述被處理體接觸并對其進行支撐；

馬達，使所述升降銷升降；

及驅動控制裝置，驅動所述馬達，

所述N組單元各自的所述驅動控制裝置與其它單元的所述驅動控制裝置獨立，并驅動各自單元的所述馬達。

2.根據權利要求1所述的被處理體的支撐機構，其特征在于，

具備指令裝置，對所述N組單元各自的所述驅動控制裝置賦予位置指令，

所述指令裝置對所述N組單元各自的所述驅動控制裝置賦予位置指令，使所述N組的各個升降銷的前端至放置在所述搬運手臂上的所述被處理體的距離或至所述搬運手臂的所述被處理體的放置面的距離全部變為相同，所述驅動控制裝置在使所述N組的各個馬達獨立地進行動作之后進行所述交接。

3.根據權利要求1所述的被處理體的支撐機構，其特征在于，

所述N組的各個馬達為線性馬達。

4.根據權利要求3所述的被處理體的支撐機構，其特征在于，

所述線性馬達是如下線性馬達，具備：

可動軸，在前端安裝有所述升降銷；

場磁鐵部，設置在所述可動軸的周圍；

框體，保持與所述場磁鐵部的周圍隔著空隙而被設置的電樞部；

及位置檢測器，設置在貫穿所述框體下部的所述可動軸的下端。

5.根據權利要求1所述的被處理體的支撐機構，其特征在于，

由使所述N組所述單元作為一個群組的多個群組構成，

所述多個群組各自的單元全部等間隔地配置在同一圓周上。

6.根據權利要求1所述的被處理體的支撐機構，其特征在于，

由使所述N組所述單元作為一個群組的多個群組構成，

所述多個群組各自的單元按每個群組配置在不同直徑的同心圓上。

7.一種支撐機構的支撐方法，是具備N組由與被處理體接觸并對其進行支撐的升降銷、使所述升降銷升降的馬達、驅動所述馬達的驅動控制裝置組成的單元，N是至少3以上的整數，在與搬運所述被處理體的搬運手臂之間交接所述被處理體的支撐機構的支撐方法，其特征在于，

在以所述N組的各個升降銷的前端至放置在所述搬運手臂上的所述被處理體的距離或至所述搬運手臂的所述被處理體的放置面的距離全部變為相同的方式，通過所述驅動控制裝置獨立地驅動所述N組的各個馬達之后進行所述交接。

8.根據權利要求7所述的支撐機構的支撐方法，其特征在于，

通過所述N組升降銷支撐由所述搬運手臂搬運來的所述被處理體時，

在所述N組的各個升降銷相對于被支撐在所述搬運手臂上的所述被處理體的距離全部變為相同之前，通過所述馬達使所述N組的各個升降銷進行高速動作，此后，暫時停止或者并不暫時停止而是連續地使所述N組的各個升降銷以比所述高速動作慢的低速動作同時上升從而支撐所述被處理體。

9.根據權利要求7所述的支撐機構的支撐方法，其特征在于，

將由所述N組升降銷支撐的所述被處理體放置在所述搬運手臂上時，

以由所述N組升降銷支撐的所述被處理體與所述搬運手臂的所述被處理體的支撐面變為平行的方式，通過所述馬達使所述N組的各個升降銷進行動作，此后，暫時停止或者并不暫時停止而是連續地使所述N組的各個升降銷同時下降從而將所述被處理體放置在所述搬運手臂上。

10.一種被處理體的搬運系統，是具備搬運被處理體的搬運手臂及在與所述搬運手臂之間交接所述被處理體的支撐機構的搬運系統，其特征在于，

所述支撐機構具備N組由與所述被處理體接觸并對其進行支撐的升降銷、使所述升降銷升降的馬達、驅動所述馬達的驅動控制裝置組成的單元，N是至少3以上的整數，

所述驅動控制裝置在以所述N組的各個升降銷的前端至放置在所述搬運手臂上的所述被處理體的距離或至所述搬運手臂的所述被處理體的放置面的距離全部變為相同的方式獨立地驅動所述N組的各個馬達之后進行所述交接。

11.一種被處理體的支撐機構，是在與搬運被處理體的搬運手臂之間交接所述被處理體的支撐機構，其特征在于，

具備N組單元，N是至少3以上的整數，該單元包括：

升降銷，與所述被處理體接觸并對其進行支撐；

馬達，使所述升降銷升降；

及驅動控制裝置，驅動所述馬達，

所述馬達分別固定于可減壓的氣密室并被配置為使設置在所述氣密室內部的所述升降銷升降，

所述驅動控制裝置在以所述N組的各個升降銷的前端至放置在所述搬運手臂上的所述被處理體的距離或至所述搬運手臂的所述被處理體的放置面的距離全部變為相同的方式，根據所述氣密室內的壓力獨立地驅動所述N組的各個馬達之后進行所述交接。