[發明專利]光波導器件和光波導器件的制造方法

有效

• 申請號: 201110068771.0
• 申請日: 2011-03-18
• 公開（公告）號: CN102193144A
• 公開（公告）日: 2011-09-21
• 發明（設計）人: 渡邊真也
• 申請（專利權）人: 日本電氣株式會社
• 主分類號: G02B6/125
• 分類號: G02B6/125;G02B6/13
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 王波波

1.一種光波導器件，包括：

光波導線路，用于從有序排列的第一至第四輸出端子輸出從與第一波導相連的第一輸入端子輸入并且分路至第一至第四光路的光信號，并且用于從有序排列的第一至第四輸出端子輸出從與第二波導相連的第二輸入端子輸入并且分路至第五至第八光路的光信號，其中

所述光波導線路包括：

光線路，向沿第二至第八光路傳播的光信號分別賦予相對于沿

第一光路傳輸的光信號的π、π/2、3π/2、0、π、π/2、3π/2的相位

差；以及

光耦合器，用于分別將沿第一至第五光路傳播的光信號、沿第二至第六光路傳播的光信號、沿第三至第七光路傳播的光信號和沿第四至第八光路傳播的光信號多路復用，并且分別輸出至所述第一至第四輸出端子；

并且其中所述光波導線路排列為讓每一個線路的所述第一至第四輸出端子如上所述排列；以及

在將光信號輸入至所述第一和第二輸入端子之前，所述第一波導和所述第二波導不交叉。

2.根據權利要求1所述的光波導器件，其中

所述光波導線路包括：

第一和第二光波導臂，用于分別傳輸分路的第一光信號；

第三和第四光波導臂，用于分別傳輸分路的第二光信號；

第一光耦合器，用于通過對在所述第一和所述第三光波導臂中傳輸的一對光信號進行組合，分別輸出具有π相位差的第一和第二干涉信號；以及

第二光耦合器，用于通過對在所述第二和所述第四光波導臂中傳輸的一對光信號進行組合，分別輸出具有π相位差的第三和第四干涉信號；

其中：

從所述第一至第四輸出端口分別輸出所述第一至所述第四干涉信號；

向所述第一和所述第二光波導臂的對或者所述第三和所述第四光波導臂的對設置光程差；以及

對所述第一和所述第三干涉信號設置所述光程差的值以及根據所述第一和所述第二光耦合器中的每一個所具有的相位轉換特性的相位差的值，以便讓所述第二和所述第四干涉信號分別具有+π/2的相位差。

3.根據權利要求1所述的光波導器件，其中

分別輸入作為分離偏振波的TE和TM信號作為第一干涉儀處的第一光信號和第二干涉儀處的第二光信號；以及

將分路的光信號的一個和另一個輸入作為第一干涉儀處的第二光信號和第二干涉儀處的第一光信號。

4.根據權利要求2所述的光波導器件，其中向所述第三和所述第四光波導臂的對設置光程差。

5.根據權利要求2所述的光波導器件，其中所述第一和所述第二光耦合器每一個均配置為馬赫-曾德干涉儀。

6.一種光波導器件制造方法，包括以下步驟：

在襯底上形成第一包層；

在所述第一包層上層壓芯區層；

通過對所述芯區層構圖形成芯區；

用具有與所述第一包層相同折射率的第二包層覆蓋所述芯區，其中

利用構圖掩模執行所述芯區層的構圖，并且所述芯區層的構圖具有包括如下部件的芯區圖案：

光波導線路，用于從有序排列的第一至第四輸出端子輸出從與第一波導相連的第一輸入端子輸入并且分路至第一至第四光路的光信號，并且用于從有序排列的第一至第四輸出端子輸出從與第二波導相連的第二輸入端子輸入并且分路至第五至第八光路的光信號，其中

所述第一和所述第二光波導包括：

光線路，向沿第二至第八光路傳播的光信號分別賦予相對于沿第一光路傳輸的光信號的π、π/2、3π/2、0、π、π/2、3π/2的相位差；以及

光耦合器，用于分別將沿第一至第五光路傳播的光信號、沿第二至第六光路傳播的光信號、沿第三至第七光路傳播的光信號和沿第四至第八光路傳播的光信號多路復用，并且分別輸出至所述第一至第四輸出端子；

并且其中所述光波導線路排列為讓每一個線路的所述第一至第四輸出端子如上所述排列；以及

在將光信號輸入至所述第一和第二輸入端子之前，所述第一波導和所述第二波導不交叉。