[發(fā)明專利]磁控式全固態(tài)激光器輸出功率穩(wěn)定裝置

無效

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• 申請日: 2011-03-21
• 公開（公告）號: CN102163796A
• 公開（公告）日: 2011-08-24
• 發(fā)明（設計）人: 陳然;郭林;鄢歆;林學春;李晉閩
• 申請（專利權）人: 中國科學院半導體研究所
• 主分類號: H01S3/13
• 分類號: H01S3/13;H01S3/139
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 周國城

1.一種磁控式全固態(tài)激光器輸出功率穩(wěn)定裝置，其特征在于，該裝置包括磁控式鏡片平移裝置(101)、全反射鏡(102)、全固態(tài)激光器的激光頭(103)、全固態(tài)激光器的輸出鏡(104)、45°激光部分反射鏡(105)、光電探測器(106)和控制器(107)，其中：

磁控式鏡片平移裝置(101)帶動激光器的全反射鏡(102)前后移動改變腔長；45°激光部分反射鏡(105)在腔外放置，用于將少量激光反射至光電探測器(106)，光電探測器(106)將收集到的光信號轉換為電信號，然后將電信號傳送至控制器(107)，控制器(107)經(jīng)過內(nèi)部程序運算計算出合適的激光器腔長改變量，并發(fā)出相應的驅動電信號精確調節(jié)磁控式鏡片平移裝置(101)的前后位移，帶動全反射鏡(102)前后位移改變腔長，從而改變激光腔的腔內(nèi)損耗，補償功率波動。

2.根據(jù)權利要求1所述的磁控式全固態(tài)激光器輸出功率穩(wěn)定裝置，其特征在于，當所述光電探測器(106)探測到激光輸出功率降低時，控制器(107)將發(fā)出減小腔長的電信號指令，磁控式鏡片平移裝置(101)帶動全反射鏡(102)向右平移減小激光腔的腔長，此時腔內(nèi)損耗相應減小，激光輸出功率提高。

3.根據(jù)權利要求2所述的磁控式全固態(tài)激光器輸出功率穩(wěn)定裝置，其特征在于，當所述光電探測器(106)探測到激光輸出功率升高時，則反向調節(jié)使功率降低。

4.根據(jù)權利要求1所述的磁控式全固態(tài)激光器輸出功率穩(wěn)定裝置，其特征在于，所述磁控式鏡片平移裝置(101)整體呈圓柱形，由支架(201)和電磁平移活塞(206)兩部分構成。

5.根據(jù)權利要求4所述的磁控式全固態(tài)激光器輸出功率穩(wěn)定裝置，其特征在于，所述磁控式鏡片平移裝置(101)還包括永磁體(202)、平移軸(203)、固定彈簧支架(204)、彈簧(205)和纏繞在電磁平移活塞(206)外部的導電線圈(207)，電流通過導電線圈(207)時電流的磁效應產(chǎn)生的磁場與永磁體(202)的磁場相互作用產(chǎn)生排斥力或吸引力驅動電磁平移活塞(206)在平移軸(203)上前后移動。

6.根據(jù)權利要求5所述的磁控式全固態(tài)激光器輸出功率穩(wěn)定裝置，其特征在于，所述平移軸(203)與電磁平移活塞(206)之間緊密接觸并且充分潤滑。

7.根據(jù)權利要求5所述的磁控式全固態(tài)激光器輸出功率穩(wěn)定裝置，其特征在于，所述電磁平移活塞(206)上具有兩支活動彈簧支架(208)，該兩支活動彈簧支架(208)與彈簧(205)相連接，四只彈簧(205)的另一端分別固定在固定彈簧支架(204)上。

8.根據(jù)權利要求7所述的磁控式全固態(tài)激光器輸出功率穩(wěn)定裝置，其特征在于，所述彈簧(205)用于增加電磁平移活塞(206)前后移動時的阻尼，并且為電磁平移活塞(206)提供回復力，與導電線圈(207)產(chǎn)生的電磁作用力共同維持電磁平移活塞(206)的受力平衡。

9.根據(jù)權利要求5所述的磁控式全固態(tài)激光器輸出功率穩(wěn)定裝置，其特征在于，所述電磁平移活塞(206)上具有導氣孔(209)，用于在電磁平移活塞(206)前后運動時及時排出氣室(210)內(nèi)的空氣，使氣室(210)內(nèi)的氣壓與外界氣壓一直。

10.根據(jù)權利要求5所述的磁控式全固態(tài)激光器輸出功率穩(wěn)定裝置，其特征在于，所述導電線圈(207)與控制器(107)相連接，控制器(107)通過改變導電線圈(207)內(nèi)電流大小控制電流產(chǎn)生的磁場強度，從而改變感生磁場與永磁體(202)的磁場之間的相互作用力大小，驅動平移活塞(206)前后位移。