[發明專利]振動體、振動裝置以及電子設備

無效

• 申請號: 201110064912.1
• 申請日: 2011-03-15
• 公開（公告）號: CN102195608A
• 公開（公告）日: 2011-09-21
• 發明（設計）人: 山崎隆
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03H9/21
• 分類號: H03H9/21
• 代理公司: 北京金信立方知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 黃威;孫麗梅

1.一種振動體，其特征在于，具有：

基部；

多個振動臂，其以從所述基部起向第1方向延伸、并在與該第1方向正交的第2方向上排列的方式而被設置；

一對激勵電極，其被設置在各個所述振動臂上，并通過通電而使所述振動臂振動，

其中，在一對所述激勵電極中的至少一個激勵電極上，局部形成有多個在其厚度方向上貫穿的孔。

2.如權利要求1所述的振動體，其中，

多個所述孔以有偏重地分布于所述第1方向上的方式，而被形成在至少一個所述激勵電極上。

3.如權利要求2所述的振動體，其中，

多個所述孔偏重分布于所述激勵電極上的、與所述振動臂的所述第1方向上的中央部對應的部分處。

4.如權利要求3所述的振動體，其中，

所述孔在所述激勵電極的單位面積上所占的面積的比例，從所述振動臂的所述第1方向上的所述中央部起朝向頂端一側逐漸減少。

5.如權利要求3所述的振動體，其中，

所述孔在所述激勵電極的單位面積上所占的面積的比例，從所述振動臂的所述第1方向上的所述中央部起朝向基端一側逐漸減少。

6.如權利要求1所述的振動體，其中，

當將所述振動臂在所述第1方向上的長度設為L1，將所述振動臂上的所述激勵電極在相同方向上的長度設為L2時，滿足0.5＜L2/L1＜1的關系。

7.如權利要求1所述的振動體，其中，

各個所述孔在俯視觀察時呈圓形。

8.如權利要求7所述的振動體，其中，

多個所述孔的平均直徑為0.01～100μm。

9.如權利要求1所述的振動體，其中，

各個所述孔在俯視觀察時呈狹縫狀。

10.如權利要求9所述的振動體，其中，

所述狹縫狀的各個所述孔在所述第2方向上延伸。

11.如權利要求9所述的振動體，其中，

所述狹縫狀的所述孔的寬度為0.01～100μm。

12.一種振動體，其特征在于，具有：

基部；

多個振動臂，其以從所述基部起向第1方向延伸、并在與該第1方向正交的第2方向上排列的方式而被設置；

壓電體元件，其被設置在各個所述振動臂上，并通過通電而進行伸縮以使所述振動臂振動；

其中，所述壓電體元件具有：第1電極層、第2電極層、和位于所述第1電極層以及所述第2電極層之間的壓電體層，

在所述第1電極層、所述壓電體層以及所述第2電極層中的至少一個層上，局部形成有多個在其厚度方向上貫穿的孔。

13.如權利要求12所述的振動體，其中，

所述振動臂為三個以上，并且通過所述壓電元件的伸縮，從而相鄰的兩個所述振動臂在與所述第1方向以及所述第2方向正交的第3方向上，向相反的方向彎曲振動。

14.一種振動裝置，其特征在于，具有：

權利要求1所述的振動體；

用于收納所述振動體的外殼。

15.一種振動裝置，其特征在于，具有：

權利要求1所述的振動體；

與所述振動體電連接的電路部；

用于收納所述振動體以及所述電路部的外殼。

16.一種電子設備，其特征在于，具有：

權利要求15所述的振動裝置。