[發明專利]一種精密多線切割機控制系統

無效

• 申請號: 201110064138.4
• 申請日: 2011-03-17
• 公開（公告）號: CN102672829A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發明（設計）人: 金萬斌;周軍;趙強;趙洋
• 申請（專利權）人: 蘇州赫瑞特電子專用設備科技有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/00
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 曹毅

技術領域

本發明屬于精密多線切割機自動控制技術領域，具體的涉及一種精密多線切割機控制系統。

背景技術

多線切割技術是目前世界上比較先進的硅片加工技術，它的原理是通過一根高速運動的鋼線帶動附著在鋼絲上的切割刃料對半導體等硬脆材料進行摩擦，從而達到切割效果。在整個過程中，鋼線通過十幾個導線輪的引導，在主線輥上形成一張線網，而待加工工件通過工作臺的上升下降實現工件的進給，可將半導體等硬脆材料一次同時切割為數百片，多線切割技術與其他技術相比有：效率高，產能高，精度高等優點。已逐漸取代了傳統的刀鋸片、砂輪片及內圓切割，是目前采用最廣泛的半導體等硬脆材料切割技術。

多線切割機：可有效的提升生產效率、提升產品規格、提升產品良品率?？蓽p少企業人力資源成本、減少材料損耗。可節約企業占地面積。

傳統的多線切割機常采用變頻器控制電機拖動，通訊常采用CAN、ModBus等傳統工業總線，由于變頻器控制精度比較差，通訊方式實時性不強，因此傳統的多線切割機的同步性能較差。

發明內容

為克服現有技術中存在的不足，本發明旨在提供一種能有效滿足高精度的多線切割機的使用要求的精密多線切割機控制系統。

為實現上述技術目的，達到上述技術效果，本發明通過以下技術方案實現：

一種精密多線切割機控制系統，包括可編程邏輯控制器(以下簡稱主控制器)，開關按鈕和檢位開關通過離散量輸入模塊與所述主控制器相連；砂泵、指示燈和繼電器通過離散量輸出模塊與所述主控制器相連；砂泵速度反饋、三通球閥開度反饋、質量流量計和斷線檢測通過模擬量輸入模塊與所述主控制器相連；砂泵速度設定、三通球閥開度設定通過模擬量輸出模塊與所述主控制器相連；溫度傳感器通過溫度檢測模塊與所述主控制器相連；主軸電動機與變頻器相連，所述變頻器通過CANOpen總線模塊與所述主控制器相連；伺服電動機與驅動器連接，所述驅動器通過PowerLink總線模塊與所述主控制器相連。

進一步的，所述變頻器還與攪拌電機相連。

進一步的，所述變頻器還與第一速度檢測裝置相連。

進一步的，所述驅動器還與第二速度檢測裝置相連。

進一步的，液壓泵通過電磁閥與所述離散量輸出模塊相連。

進一步的，所述主控制器通過以太網交換機與人機界面相連。

進一步的，所述砂泵通過砂漿輸送管與熱交換器的砂漿輸入口相連，所述質量流量計通過砂漿輸送管與熱交換器的砂漿輸出口相連，三通球閥的輸入口通過冷水輸送管與冷水機的出口相連，輸出口通過冷水輸送管與熱交換器的冷水輸入口相連，冷水機的入口通過冷水輸送管與熱交換器的冷水輸出口相連。

與現有技術相比，本發明具有以下有益效果：

本發明采用大功率三相異步電機做主軸驅動，使用變頻器閉環矢量控制，以達到主軸電動機可以在高速運行時候更加平穩，在啟動和停止時快速到達目標速度或及時剎車。伺服電機通過Powerlink工業以太網總線控制，其優點有1、通訊循環時間短，大大優于CAN、ModBus等傳統工業總線；2、伺服電機相應時間短，其伺服驅動器可以自行換算，省去了將數據傳到主控制器所消耗的時間；3、電機高速和低速運轉平穩，扭矩控制精確。

上述說明僅是本發明技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本發明的技術手段，并可依照說明書的內容予以實施，以下以本發明的較佳實施例并配合附圖詳細說明如后。本發明的具體實施方式由以下實施例及其附圖詳細給出。

附圖說明

此處所說明的附圖用來提供對本發明的進一步理解，構成本申請的一部分，本發明的示意性實施例及其說明用于解釋本發明，并不構成對本發明的不當限定。在附圖中：

圖1示出了本發明的精密多線切割機控制系統的控制原理圖。

圖2示出了本發明中冷卻系統的控制原理圖。