[發明專利]利用透明塊縮小光斑

無效

• 申請號: 201110063205.0
• 申請日: 2005-09-27
• 公開（公告）號: CN102162934A
• 公開（公告）日: 2011-08-24
• 發明（設計）人: A·蓋塔;D·柯恩古特
• 申請（專利權）人: 應用材料以色列公司
• 主分類號: G02B27/48
• 分類號: G02B27/48
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 陸勍

1.一種用于縮小光斑的裝置，包括：

第一相干性降低元件，它包含由一組第一透明部件組成的第一陣列，所述第一透明部件被設置為各自接收一光束中不同的第一部分，所述第一透明部件相對于穿過其中的光束具有至少兩種不同的光程，并輸出所述相應的第一部分作為各自基本上準直的第一子光束；

第二相干性降低元件，它包含由一組第二透明部件組成的第二陣列，所述第二透明部件被設置為接收每個所述第一子光束的各自不同的第二部分，所述第二透明部件相對于穿過其中的光束具有至少兩種不同的光程，并輸出所述相應的第二部分作為各自基本上準直的第二子光束；以及

光合成器，其被設置為將所述第二基本準直子光束合成為基本準直的輸出光束，

其中，所述第一和第二相干性降低元件中的一個或兩者進一步包括一繞過部分，以允許所述光束的一部分繞過所述第一和第二相干性降低元件中的至少一個。

2.如權利要求1所述的裝置，其中，所述光束包括具有相干長度的相干光束，其中所述第一透明部件的兩個或更多個光程彼此相差至少所述相干長度。

3.如權利要求1所述的裝置，其中，所述光束包括具有相干長度的相干光束，其中所述第二透明部件生成的兩個或更多個光程彼此相差至少所述相干長度。

4.如權利要求1所述的裝置，包括產生作為單模相干光束的光束的單模相干光源。

5.如權利要求1所述的裝置，包括產生作為多模相干光束的光束的多模相干光源。

6.如權利要求1所述的裝置，其中，所述第一和第二透明部件中的至少一個為具有一對平行切面的棱鏡的形式，通過至少一個切面傳送所述光束的相應部分。

7.如權利要求6所述的裝置，其中，所述棱鏡為直立棱柱。

8.如權利要求7所述的裝置，其中，所述直立棱柱包括矩形基底。

9.如權利要求6所述的裝置，其中，所述第一和第二透明部件中的至少一個包括透射部件。

10.如權利要求6所述的裝置，其中，所述第一和第二透明部件中的至少一個包括反射部件。

11.如權利要求1所述的裝置，其中，所述光束包括繞過所述第一和第二相干性降低元件的至少一個的繞過部分。

12.如權利要求1所述的裝置，其中，所述光束為具有相干長度的相干光束，其中所述第一和第二透明部件中的至少一個的兩個光程彼此相差至少所述相干長度。

13.如權利要求1所述的裝置，其中，所述第一陣列包括一定數目的所述第一透明部件，其中由所述第二透明部件產生的所述至少兩種不同的相應的光程為所述數目的函數。

14.如權利要求1所述的裝置，其中，所述第二陣列包括一定數目的所述第二透明部件，其中由所述第一透明部件產生的所述至少兩種不同的相應的光程為所述數目的函數。

15.如權利要求1所述的裝置，其中，每一第二基本上準直的子光束穿過相應的組合光路，其中選擇由所述第一透明部件產生的所述相應的光程以及所述第二透明部件產生的所述相應的光程以使所述相應的組合光路相互不同。

16.如權利要求15所述的裝置，其中，所述光合成器包括均化所述準直的輸出光束的多個透鏡。

17.一種用于縮小光斑的裝置，包括：

相干性降低元件，它包括一個由透明部件組成的陣列，所述透明部件被設置為各自接收入射在所述元件上的光束的不同部分，所述透明部件相對于穿過其中的光束各自具有至少兩種不同的光程，并輸出所述相應的部分作為各自基本上準直的子光束；和

光合成器，其被設置為將所述基本上準直的子光束合成為一條基本上準直的輸出光束，

其中，所述相干性降低元件進一步包括一繞過部分，以允許所述光束的一部分繞過所述相干性降低元件。

18.如權利要求17所述的裝置，其中，所述光合成器包括均化所述準直輸出光束的多個透鏡。