[發(fā)明專利]芯片焊接機的工裝夾具管理方法和芯片焊接機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110062340.3
• 申請日: 2011-03-10
• 公開（公告）號: CN102419822A
• 公開（公告）日: 2012-04-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 高木進;牧浩
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社日立高新技術(shù)儀器
• 主分類號: G06K17/00
• 分類號: G06K17/00;H01L21/00;H01L21/60
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 王茂華

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及芯片焊接機的工裝夾具管理方法和芯片焊接機，尤其涉及適用于能夠利用芯片焊接機，管理根據(jù)要安裝的半導(dǎo)體芯片來進行更換的工裝夾具，通過防止生產(chǎn)時的錯誤來提高使用芯片焊接機的生產(chǎn)線的生產(chǎn)能力的方法。

背景技術(shù)

作為將半導(dǎo)體集成電路(半導(dǎo)體芯片、管芯(die))安裝在印刷電路板上的裝置，已知有芯片焊接機(Die?Bonder)。

作為通過芯片焊接機在印刷電路板上安裝半導(dǎo)體芯片的順序，首先，在要安裝印刷電路板的半導(dǎo)體芯片的位置(管芯墊(die?pad))上利用預(yù)成形頭(preform?head)預(yù)先涂敷糊劑(粘結(jié)劑)。

另一方面，在半導(dǎo)體晶片上，同一圖案形成有多個，通過切割被切斷分離成各半導(dǎo)體芯片，利用半導(dǎo)體晶片的基座使之維持排列狀態(tài)。然后，從半導(dǎo)體晶片上部使焊接頭下降，從下部將頂出單元的銷(peen)頂出，通過兩者協(xié)作，從基座上剝離半導(dǎo)體芯片，使其吸附到焊接頭的夾頭(collet)中。然后，使焊接頭移動到管芯墊上，將半導(dǎo)體芯片帶到管芯墊上進行粘結(jié)。

這樣的芯片焊接機能夠應(yīng)對用于安裝于印刷電路板的多品種的半導(dǎo)體芯片，因此，預(yù)成形頭、焊接頭、頂出單元的工裝夾具能夠更換。

例如，日本特開2005-32828號公報中公開了如下技術(shù)：使焊接頭的軌跡根據(jù)半導(dǎo)體芯片的芯片尺寸而變化。

如上所述，在芯片焊接機中，需要根據(jù)印刷電路板上要安裝的半導(dǎo)體芯片來更換并安裝預(yù)成形頭、焊接頭、頂出單元等的工裝夾具。此時，操作員通過觀察確認(rèn)工裝夾具所標(biāo)記的序號、工裝夾具的形狀，來親自進行所安裝的工裝夾具是否與要生產(chǎn)的產(chǎn)品對應(yīng)的確認(rèn)。

如果工裝夾具的安裝有錯誤，安裝了與產(chǎn)品不對應(yīng)的工裝夾具時，芯片焊接機的裝置將停止，或者即使在已工作的情況下，當(dāng)品質(zhì)劣化或最差時，將發(fā)生破壞印刷電路板、半導(dǎo)體芯片的故障。以往，沒有提供操作員檢查工裝夾具的安裝錯誤的方法。

另外，考慮在工裝夾具上貼條形碼，在工裝夾具安裝時使條形碼讀取器對其進行讀取來管理的方法。

但是，在使用了條形碼時，操作員必須使其一一讀取條形碼，并將條形碼的ID與工裝夾具的規(guī)格對應(yīng)地作成表來保持，與日俱增的工裝夾具信息的管理成為問題。另外，條形碼也不能存儲使用了工裝夾具的生產(chǎn)的工作履歷。

本發(fā)明是為了解決上述問題而研究的，其目的在于提供一種芯片焊接機的工裝夾具管理方法，在可更換工裝夾具的芯片焊接機中，能夠自動進行工裝夾具的管理，減輕操作員的操作，防止工裝夾具的安裝錯誤，進行高度的生產(chǎn)管理。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的芯片焊接機的工裝夾具管理方法中的芯片焊接機，將半導(dǎo)體晶片上的半導(dǎo)體集成電路的管芯安裝于印刷電路板，預(yù)成形頭的一部分、焊接頭的一部分、頂出單元的一部分分別作為工裝夾具能夠更換，上述預(yù)成形頭用于在印刷電路板上涂敷用于粘結(jié)管芯的粘結(jié)劑，上述焊接頭用于從半導(dǎo)體晶片上拾取管芯而供給至印刷電路板，上述頂出單元在上述焊接頭拾取上述管芯時從下方頂出要拾取的上述管芯。

在預(yù)成形頭的工裝夾具、焊接頭的工裝夾具、頂出單元的工裝夾具上安裝RFID標(biāo)簽，將關(guān)于安裝有RFID標(biāo)簽的工裝夾具的信息存儲于RFID標(biāo)簽。

開工前，在芯片焊接機上安裝符合要生產(chǎn)的印刷電路板的預(yù)成形頭的工裝夾具、焊接頭的工裝夾具、頂出單元的工裝夾具。

另一方面，操作員從鍵盤、觸摸屏等輸入裝置輸入成為各工裝夾具加工對象的管芯的信息，在RAM中保持所輸入的作為工裝夾具加工對象的管芯的信息，RFID讀寫器讀出各工裝夾具上所安裝的上述RFID標(biāo)簽中存儲的信息，運算裝置對存儲器中存儲的作為工裝夾具加工對象的管芯的信息、與工裝夾具上所安裝的上述RFID標(biāo)簽中存儲的關(guān)于工裝夾具的信息進行比較，當(dāng)存儲器中存儲的作為工裝夾具加工對象的管芯的信息、與工裝夾具上所安裝的上述RFID標(biāo)簽中存儲的關(guān)于工裝夾具的信息進行比較的結(jié)果為兩者不一致時，CPU使顯示裝置顯示關(guān)于工裝夾具的安裝的判斷結(jié)果。

這里，關(guān)于工裝夾具的信息包括工裝夾具的種類、半導(dǎo)體晶片的產(chǎn)品名、管芯的尺寸、工裝夾具的材質(zhì)。

芯片焊接機預(yù)先提取工裝夾具的工作履歷而保持在RAM中，并將從HDD等讀出的關(guān)于工裝夾具的工作的信息也保持在RAM中。

在生產(chǎn)結(jié)束時，CPU指示RFID讀寫器將工裝夾具的履歷寫入各工裝夾具中安裝的RFID標(biāo)簽中，RFID讀寫器按照該CPU的指示，將各工裝夾具的工作履歷寫入各工裝夾具中安裝的RFID標(biāo)簽中。