[發明專利]降低顯示器系統里散斑效應的裝置

有效

• 申請號: 201110061896.0
• 申請日: 2011-03-15
• 公開（公告）號: CN102141687A
• 公開（公告）日: 2011-08-03
• 發明（設計）人: 陳奕泉;霍露明;劉穎;蔡振榮
• 申請（專利權）人: 香港應用科技研究院有限公司
• 主分類號: G02B27/48
• 分類號: G02B27/48;G02B26/08
• 代理公司: 深圳新創友知識產權代理有限公司 44223
• 代理人: 江耀純

1.一個MEMS裝置，用于通過擴大激光掃描投影顯示器上的激光光斑尺寸來減小散斑效應，包括：

一個膜，其被設置以時間性地改變形狀，使得一個或多個入射激光束被該膜以不同的折射角進行折射，所述一個或多個入射激光束具有第一截面激光光斑尺寸，而折射激光束的一個時間平均產生第二截面激光光斑尺寸，第二截面激光光斑尺寸不同于第一截面激光光斑尺寸；和

一個或多個致動器，其能夠時間性地改變膜的形狀。

2.根據權利要求1所述的MEMS裝置，其中：

致動器是一個電極陣列，所述電極被排列在MEMS裝置上一個由所述膜覆蓋的區域上。

3.根據權利要求1所述的MEMS裝置，其中：

每個致動器支撐所述膜的每個末端，并時間性地發生振蕩。

4.根據權利要求1所述的MEMS裝置，其中：

至少一個由所述膜覆蓋的MEMS裝置的表面區域被密集地圖案化成多個鏡。

5.根據權利要求1所述的MEMS裝置，其中：

所述膜被涂敷一層導電薄膜。

6.根據權利要求1所述的MEMS裝置，其中：

至少一個由所述膜覆蓋的MEMS裝置的表面區域上被涂敷一發散層。

7.根據權利要求5所述的MEMS裝置，其中：

所述發散層表面被涂敷一反射涂層。

8.根據權利要求5所述的MEMS裝置，其中：

所述發散層表面被粗糙化。

9.根據權利要求5所述的MEMS裝置，其中：

所述發散層是一個圖案化的介質薄膜。

10.根據權利要求5所述的MEMS裝置，其中：

所述發散層在其表面至少有一個聚合物結構。

11.根據權利要求5所述的MEMS裝置，其中：

在所述發散層的頂部之間提供一反射涂層。

12.根據權利要求10所述的MEMS裝置，其中：

所述發散層是由不均勻的相變聚合物構成。

13.一個使用如權利要求1所述的MEMS裝置的光學系統，還包括：

一照明源，其發出一個或多個激光束，一個或多個激光束被傳播到MEMS裝置的周期振動的膜上，然后發生折射；和

一雙軸MEMS反射鏡，其接收由MEMS裝置折射的激光束，并以發散方式反射激光束以產生圖像在屏幕上。

14.一個使用如權利要求1所述的MEMS裝置的光學系統，還包括：

一個照明源，其發出一個或多個激光束，一個或多個激光束被傳播到MEMS裝置的周期振動膜上，然后發生折射；

至少一個額外的MEMS裝置，該MEMS裝置是權利要求1所述的MEMS裝置，其被安置以接收并折射離開MEMS裝置的激光束；和

一雙軸MEMS反射鏡，其接收來自額外的MEMS裝置的激光束，并以掃描方式反射激光束以產生圖像在屏幕上。