[發明專利]循環型集塵裝置

無效

• 申請號: 201110060891.6
• 申請日: 2011-03-10
• 公開（公告）號: CN102451595A
• 公開（公告）日: 2012-05-16
• 發明（設計）人: 筱原大介
• 申請（專利權）人: 松下電器產業株式會社
• 主分類號: B01D50/00
• 分類號: B01D50/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 汪惠民

技術領域

本發明涉及使通過過濾器收集、凈化后的空氣返回原來的作業室的循環型集塵裝置。

背景技術

用于密封半導體芯片等的半導體密封用樹脂組成物在通過攪拌機將環氧樹脂、固化劑、固化促進劑、分型劑、阻燃劑、著色劑等各成分攪拌后成形為板狀，進而用錘子粉碎而成形為所希望的形狀的小塊。此時，產生大量的粉塵，因設備的污染而導致成型品的可靠性的降低及作業環境的惡化等(參照專利文獻1)。在大量產生這樣的粉塵的環境下，通過集塵裝置回收飛散的粉塵。

另外，在使用成形為規定形狀的小塊密封半導體芯片時，通過振動輸送帶等將小塊向密封成形裝置供給，但小塊自身也產生粉塵，或者附著在小塊上的粉塵飛散。因此，提出有在密封成形裝置自身上安裝集塵裝置，以免在成形模具附近附著粉塵(參照專利文獻2)。

根據以往的集塵裝置，通過過濾器除去粉塵，將凈化后的排氣直接排到屋外。然而，當通過集塵裝置將作業室(例如，工廠的建筑物內)的空氣向屋外排出時，作業室成為負壓，從作業室外(例如，屋外)流入新的空氣。通常，將作業室調溫·調濕成氣溫15～20℃、濕度30～50％。當從作業室外流入具有溫度差及/或濕度差的新的空氣時，必須使空調設備動作來進行調溫·調濕，從而空調設備消耗的電力增加。

專利文獻1：日本特開平10-128742號公報

專利文獻2：日本特開平9-219414號公報

發明內容

本發明為了解決上述現有例的問題而提出，其目的在于提供一種循環型集塵裝置，該裝置能夠從大量產生粉塵的作業室有效地除去粉塵，同時能夠降低空調設備消耗的電力。

為了達成上述目的，本發明的循環型集塵裝置的特征在于，具備：鼓風機，其用于吸引作業室的空氣；除塵過濾器，其過濾通過所述鼓風機吸引的空氣，除去所述吸引的空氣中含有的粉塵；返回通道，其用于使通過所述除塵過濾器過濾后的空氣的至少一部分向所述作業室返回；凈化過濾器，其設置于所述返回通道，用于進一步過濾向所述作業室返回的空氣。

在上述結構中，優選所述凈化過濾器由材質不同的至少兩種過濾器構成。

還優選對所述返回通道的至少一部分進行帶電處理，從而靜電吸附浮游粉塵。

優選用于使空氣從所述返回通道向所述作業室返回的開口的總面積比所述鼓風機的吸引側開口的面積寬。

發明效果

根據本發明的結構，由于以往排到屋外的排氣的至少一部分返回原來的作業室，因此減少了作業室的氣壓降低，減少了從作業室外流入的新的空氣量。另外，返回作業室的空氣的溫度及濕度與原來的作業室的溫度及濕度不太有差別。因此，在使空調設備動作而進行調溫·調濕時，能夠使空調設備消耗的電力與以往的情況相比大幅度地降低。此外，雖說通過除塵過濾器過濾，但由于排向屋外的排氣中含有微量的粉塵且排向屋外的排氣量也變小，因此能夠進一步降低屋外環境的污染。進而，由于向作業室返回的空氣通過凈化過濾器進一步過濾，因此幾乎不存在粉塵向作業室循環的情況。

附圖說明

圖1是表示本發明的一實施方式的循環型集塵裝置的基本結構及設置狀態的圖。

圖2是表示本發明的一實施方式的循環型集塵裝置的變形例的圖。

圖3是表示本發明的一實施方式的循環型集塵裝置的另一變形例的圖。

符號說明：

1循環型集塵裝置

2作業室

3建筑物

5調溫·調濕裝置(空調設備)

11吸塵罩(吸氣口)

12吸引通道

13鼓風機

14除塵過濾器

15返回通道

15a返回通道的空氣返回側的開口

16凈化過濾器

17通風口

18隔熱材料

20電源(帶電處理)

具體實施方式