[發明專利]振動片、振子、傳感器以及電子設備

無效

• 申請號: 201110059547.5
• 申請日: 2011-03-11
• 公開（公告）號: CN102195601A
• 公開（公告）日: 2011-09-21
• 發明（設計）人: 西澤竜太
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03H9/15
• 分類號: H03H9/15;G01P15/08;G01L1/16
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種振動片，其特征在于，包含：

基部；

振動臂，其從上述基部起在第1方向上延伸，在平面視圖中在與上述第1方向垂直的第2方向上具有寬度，且在與上述第1方向以及上述第2方向垂直的第3方向上具有厚度；以及

梳齒電極，其設置在上述振動臂的與上述第3方向垂直的第1面以及與上述第1面相對的第2面中的至少一方上，且在上述第1方向上排列有電極指，

通過由上述梳齒電極產生的上述第1方向上的電場，使上述振動臂產生上述第1方向上的伸縮，使上述振動臂在上述第3方向上振動。

2.根據權利要求1所述的振動片，其特征在于，

在設上述振動臂的上述寬度為w、上述厚度為t時，w＞t。

3.根據權利要求1或2所述的振動片，其特征在于，

上述振動片采用了石英，

上述第1方向是石英晶軸的X軸方向，上述第2方向是石英晶軸的Y軸方向，上述第3方向是石英晶軸的Z軸方向。

4.根據權利要求1～3中任意一項所述的振動片，其特征在于，

關于上述梳齒電極，在設上述電極指與和該電極指的一側相鄰的其它上述電極指之間的距離為L1、上述電極指與和該電極指的另一側相鄰的其它上述電極指之間的距離為L2時，上述L2大于上述L1。

5.根據權利要求1～3中任意一項所述的振動片，其特征在于，

設上述振動臂的基部端附近的上述電極指與和該電極指的一側相鄰的其它上述電極指之間的距離為L1、上述電極指與和該電極指的另一側相鄰的其它上述電極指之間的距離為L2，則上述L2大于上述L1，

當設上述振動臂的末端部附近的上述電極指與和該電極指的一側相鄰的其它上述電極指之間的距離為L3、上述電極指與和該電極指的另一側相鄰的其它上述電極指之間的距離為L4時，上述L4大于上述L3，而且上述L4大于上述L2。

6.根據權利要求1～5中任意一項所述的振動片，其特征在于，

上述梳齒電極設置在上述第1面以及上述第2面上，

對于設置在上述第1面上的第1梳齒電極與設置在上述第2面上的第2梳齒電極，上述電場的方向是彼此相反的。

7.根據權利要求6所述的振動片，其特征在于，

對于上述第1梳齒電極與上述第2梳齒電極，在從上述第3方向觀察的平面視圖中，極性不同的上述電極指相互不重疊。

8.根據權利要求1～7中任意一項所述的振動片，其特征在于，

在上述振動臂的上述第1面以及上述第2面中的至少一方上設置有凸部，

在上述凸部的與上述第1方向垂直的兩個側面上分別設置有構成上述梳齒電極的上述電極指。

9.根據權利要求1～8中任意一項所述的振動片，其特征在于，

設置有多個上述振動臂。

10.根據權利要求1～9中任意一項所述的振動片，其特征在于，

上述基部包括第1基部和第2基部，

上述振動臂的一端與上述第1基部相連，上述振動臂的另一端與上述第2基部相連。

11.一種振子，其特征在于，包含：

權利要求1～10中任意一項所述的振動片；以及

收容上述振動片的收容體。

12.一種傳感器，其特征在于，包含權利要求1～10中任意一項所述的振動片。

13.一種電子設備，其特征在于，包含權利要求1～10中任意一項所述的振動片。