[發明專利]制造芯片的方法、氣體傳感器裝置、在芯片上鍍碳納米管的方法

無效

• 申請號: 201110058648.0
• 申請日: 2011-03-11
• 公開（公告）號: CN102279220A
• 公開（公告）日: 2011-12-14
• 發明（設計）人: 潘元志
• 申請（專利權）人: 潘元志
• 主分類號: G01N27/70
• 分類號: G01N27/70;B81C1/00;B81B7/02
• 代理公司: 北京友聯知識產權代理事務所(普通合伙) 11343
• 代理人: 尚志峰;汪海屏

1.一種制造芯片的方法，所述芯片用于氣體傳感器，其特征在于，包括：

步驟102，在基底上制作所述芯片的電極；

步驟104，在所述基底上制作所述電極間的連線；

步驟106，在所述電極上鍍上碳納米管。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟102包括：

選擇硅片、石英片或玻璃片作為所述芯片的基底，并進行烘干；

在所述基底上濺射Cr/Cu種子層；

對所述基底上的Cr/Cu上進行甩膠、光刻；

對所述基底上的Cr/Cu進行蝕刻，以形成所述電極。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟104包括：

在所述基底上進行甩膠、光刻；

在所述基底上濺射Cr/Cu種子層；

對所述基底進行去膠，以形成所述連線。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟106包括：

在所述基底上進行甩膠、光刻，以保護所述連線，釋放所述電極；

在所述電極上電鍍鎳；

在所述電極的鎳上鍍上碳納米管。

5.一種氣體傳感器裝置，其特征在于，包括信號發生器、傳感器芯片、電流/電壓轉換器、帶通濾波器、交/直流轉換器、模/數轉換器、可編程控制器，其中，

所述信號發生器，為所述傳感器芯片提供正弦波交流信號；

所述傳感器，所述傳感器的芯片的電極上覆蓋有碳納米管，接收來自所述信號發生器的所述正弦波交流信號，并對氣體產生感應，形成電流信號；

所述電流/電壓轉換器，接收來自所述傳感器的所述電流信號，對所述感應電流進行電流/電壓轉換以及差分放大，形成交流電壓信號；

所述帶通濾波器，接收來自所述電流/電壓傳感器的所述交流電壓信號，對所述交流電壓信號進行濾波處理；

所述交/直流轉換器，接收來自所述帶通濾波器的所述交流電壓信號，并轉換成直流電壓信號；

所述模/數轉換器，接收來自所述交/直流轉換器的所述直流電壓信號，將所述電壓信號由模擬信號轉換為數字信號；

所述可編程控制器，接收來自所述模/數轉換器的所述數字信號，并對所述數字信號進行分析處理，并輸出結果數據。

6.根據權利要求5所述的氣體傳感器裝置，其特征在于，所述信號發生器為由運算放大器和RC文氏電橋組成的振蕩器。

7.根據權利要求5所述的氣體傳感器裝置，其特征在于，所述電流/電壓轉換器為由運算放大器和反饋電阻組成的并聯負反饋電路。

8.根據權利要求5所述的氣體傳感器裝置，其特征在于，所述交/直流轉換器為線性檢波電路。

9.根據權利要求5至8中任一項所述的氣體傳感器裝置，其特征在于，還包括：

顯示模塊，接收來自所述可編程控制器的所述結果數據，并將所述結果數據以波形的方式進行顯示；

存儲模塊，接收來自所述可編程控制器的所述結果數據并進行存儲；

異常模塊，接收來自所述可編程控制器的所述結果數據，并根據所述結果數據判斷氣體是否存在異常。

10.一種在芯片上鍍碳納米管的方法，所述芯片用于氣體傳感器，其特征在于，包括：

步驟302，將碳納米管均勻分散在丙酮溶液中；

步驟304，對含有所述碳納米管的所述丙酮溶液進行超聲處理；

步驟306，通過電泳，將所述丙酮溶液中的所述碳納米管鍍到所述芯片的電極上。