[發明專利]多點噴射噴嘴

無效

• 申請號: 201110058028.7
• 申請日: 2011-03-11
• 公開（公告）號: CN102145320A
• 公開（公告）日: 2011-08-10
• 發明（設計）人: 彭鵬;張金松;張建華
• 申請（專利權）人: 上海大學
• 主分類號: B05B1/14
• 分類號: B05B1/14;B05B1/34;B05B1/02
• 代理公司: 上海上大專利事務所(普通合伙) 31205
• 代理人: 何文欣

技術領域

本發明涉及一種多點噴射噴嘴，它能夠產生高頻率的大面積噴射效果，可以廣泛應用于電子封裝中的多芯片封裝、大規模集成電路封裝，以及發動機燃油噴嘴等領域。

背景技術

隨著半導體薄膜制造技術的微型化、集成化而不斷發展，電子封裝技術作為當今半導體制造產業的一個重要組成部分，目前已呈現出高密度、高效率、低成本的發展趨勢。在電子封裝領域中，膠液分配技術是關鍵技術之一，廣泛應用于芯片貼裝、芯片包敷、導熱硅膠填充、芯片與基板互連等工藝中。

就芯片水平來看，下一階段的封裝技術發展呈單芯片向多芯片發展的趨勢，相對于單芯片封裝而言，多芯片封裝是直接把多個裸芯片安裝在多層高密度互連襯底上，然后一起密封起來，封裝外殼與電路板的連接與其它外殼相同。多芯片封裝比起單芯片封裝來允許芯片與芯片之間靠得更近，因此對于膠液分配技術來說，單次噴射的面積也要求更大，伴隨著多芯片封裝的發展趨勢，大面積膠液涂敷將是下一階段膠液分配技術的發展方向。

目前國內外各企業和科研單位著重于突破單點噴射的膠液體積量和噴射頻率，美國Asymtek公司推出的DJ9500點膠頭，最小噴射點直徑為200μm，噴射精度為1?nanoliter，噴射流線寬度可達50μm；日本MUSASHI推出的型號為MJET-A-HU*-RL點膠頭，點膠頻率達到世界最高，為270dps，平均點膠量為0.02?mg/d。對于大尺寸芯片封裝中的點膠，大部分都是采用重復噴射的方法，這樣工作效率不高，在連續兩次噴射時，液滴先后與基板接觸會在兩個液滴之間產生氣泡，對出光產生很大的影響。

發明內容

本發明的目的針對已有技術存在的不足，提供一種多點噴射噴嘴，可以實現高頻率的大面積噴射效果。

為達到上述目的，本發明的構思是：

本發明的多點噴射噴嘴，具有閥體。

閥體側面具有一液體進口，液體進口處設有內螺紋與外部供液裝置旋配，液體入口為本噴嘴提供了穩定的液體來源，保障工作介質的存在，輸入的液體流速可調控，為下游流動提供壓力和動力。

閥體頂部具有一液體驅動介質通道，其液體驅動介質可以是機械噴針或者高壓氣體。

閥體中液體驅動介質通道內壁設有一錐臺，所述錐臺具有一收斂角，其收斂角不大于90°，當驅動介質為機械噴針時錐臺可以緩沖噴針與噴嘴的機械碰撞；當驅動介質為高壓氣體時，錐臺可以加速高壓氣體的流動。

閥體下端具有一凸臺，中心位置設有一內孔，壓緊套杯通過連接螺釘固定于閥體的下端，從而將噴嘴抵壓于閥體下端的內孔中，噴嘴與閥體下端內孔的凸緣間裝有一O型密封圈，實現了噴嘴內腔與外部環境的密封。

本發明的多點噴射噴嘴，具有噴嘴。

噴嘴具有一液流通道和噴嘴出口，液流通道與噴嘴出口連接處設有一圓弧表面，當驅動介質為機械噴針時，該圓弧表面與機械噴針下端的圓弧表面完全配合。

噴嘴出口的直徑為毫米或微米量級，噴嘴出口數目大于等于5個，并圍繞中心出口呈圓周排列。

噴嘴內部的液流通道和噴嘴出口內表面均鍍有特氟龍材料，能減少材料對內部流動特性的影響。

根據上述發明構思，本發明采用下述技術方案：

一種多點噴射噴嘴，包括閥體、壓緊套杯、噴嘴、連接螺釘和O型密封圈，其特征在于：說書壓緊套杯通過連接螺釘固定于閥體的下端，從而將噴嘴抵壓于閥體下端內孔中，噴嘴與閥體下端內孔的凸緣間裝有O型密封圈，O型密封圈實現了噴嘴內腔與外部環境的密封。

上述閥體側面具有一液體進口，液體進口處設有內螺紋與外部供液裝置旋配；所述閥體具有一液體驅動介質通道，其驅動介質可以是機械噴針或高壓氣體，液體入口為本噴嘴提供了穩定的液體來源，保障工作介質的存在，輸入的液體流速可調控，為下游流動提供壓力和動力；閥體內壁具有一錐臺，所述錐臺具有一收斂角，其收斂角不大于90°，當驅動介質為機械噴針時錐臺可以緩沖噴針與噴嘴的碰撞，當驅動介質為高壓氣體時，錐臺可以加速高壓氣體的流動。

上述噴嘴具有一液流通道和噴嘴出口，液流通道與噴嘴出口連接處設有一圓弧表面，當驅動介質為機械噴針時，該圓弧表面與機械噴針下端的圓弧表面完全配合；噴嘴出口直徑為毫米或微米量級，噴嘴出口數目為大于等于5個，并圍繞中心出口呈圓周排列；噴嘴內部的液流通道和噴嘴出口內表面鍍有特氟龍材料，能減小噴嘴材料對內部流動特性的影響，便于維護和清洗。

本發明與現有技術相比較，具有如下顯而易見的突出實質性特點和顯著優點：

1、采用本發明的多點噴射噴嘴，液體可以有多種驅動方式，包括機械噴針驅動和高壓氣體驅動；