[發明專利]光濾波器以及使用其的分析設備和光設備

有效

• 申請號: 201110057787.1
• 申請日: 2011-03-08
• 公開（公告）號: CN102207615A
• 公開（公告）日: 2011-10-05
• 發明（設計）人: 佐野朗
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G02B26/00
• 分類號: G02B26/00;G01J3/46
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李偉;閻文君

1.一種光濾波器，其特征在于，包括：

第一基板；

第二基板，其與所述第一基板對置；

第一反射部，其被設置于所述第一基板的與所述第二基板對置的第一對置面；

第二反射部，其被設置于所述第二基板的與所述第一基板對置的第二對置面，并與所述第一反射部對置；

第一電極，其在俯視的情況下，在所述第一反射部的周圍的位置被設置于所述第一基板的所述第一對置面；及

第二電極，其被設置于所述第二基板的所述第二對置面，并與所述第一電極對置，

在所述第一對置面和所述第二對置面的至少一方中形成有階梯部，

在向所述第一電極與所述第二電極之間施加的電壓為未施加狀態下的所述第一反射部與所述第二反射部之間的間隙，小于向所述第一電極與所述第二電極之間施加的電壓為未施加狀態下的所述第一電極與所述第二電極之間的間隙。

2.根據權利要求1所述的光濾波器，其特征在于，

所述第一基板的所述第一對置面包括第一面和第二面，該第二面在俯視的情況下被配置于所述第一面的周圍并與所述第一面存在階梯差，在所述第一面形成有所述第一反射部，在所述第二面形成有所述第一電極。

3.根據權利要求1所述的光濾波器，其特征在于，

所述第一基板的所述第一對置面包括第一面和第二面，該第二面在俯視的情況下被配置于所述第一面的周圍并與所述第一面存在階梯差，在所述第一面形成有所述第一反射部，在所述第二面形成有所述第一電極，

所述第二基板的所述第二對置面包括第三面和第四面，該第四面在俯視的情況下被配置于所述第三面的周圍并與所述第三面存在階梯差，在所述第三面形成有所述第二反射部，在所述第四面形成有所述第二電極。

4.根據權利要求2或3所述的光濾波器，其特征在于，

所述第二基板以相對于所述第一基板可移動的方式被支承，

所述第二基板的配置有所述第二反射部的區域的壁厚形成為比配置有所述第二電極的區域的壁厚厚。

5.根據權利要求1至4中任意一項所述的光濾波器，其特征在于，

所述第一電極被分割為在電氣上獨立的至少K個段電極，其中，K為2以上的整數，

所述第二電極是處于相同電位的公共電極。

6.根據權利要求2至4中任意一項所述的光濾波器，其特征在于，

所述第一電極被分割為在電氣上獨立的至少K個段電極，其中，K為2以上的整數，

所述第二電極是處于相同電位的公共電極，

所述K個段電極至少具有第一、第二段電極，該第一、第二段電極分別包括相對于所述第一反射部的中心被配置為同心環狀的環狀電極部，所述第一段電極被配置為比所述第二段電極靠內周側。

7.根據權利要求6所述的光濾波器，其特征在于，

第一引出布線與所述第一段電極連接，

在所述第二段電極中設有使所述第二段電極的所述環狀電極部不連續的第一狹縫，

所述第一引出布線穿過所述第一狹縫被引出到所述第二段電極的外側。

8.根據權利要求7所述的光濾波器，其特征在于，

被配置于相對于所述第一基板變位的所述第二基板上的所述第二電極具有第三、第四段電極，該第三、第四段電極分別包括相對于所述第二反射部的中心配置為同心環狀的環狀電極部，所述第三段電極與所述第一段電極對置，所述第四段電極與所述第二段電極對置，并且第三、第四段電極之間被電連接。

9.根據權利要求8所述的光濾波器，其特征在于，

在與所述第一狹縫對置的位置連續形成有所述第四段電極的所述環狀電極部。

10.根據權利要求8所述的光濾波器，其特征在于，

還具有在與所述第一狹縫對置的位置使所述第四段電極的所述環狀電極部不連續的第二狹縫。