[發(fā)明專利]立式熱處理裝置及其冷卻方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110057683.0
• 申請(qǐng)日: 2011-03-10
• 公開（公告）號(hào): CN102191473A
• 公開（公告）日: 2011-09-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小林誠
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C23C14/54
• 分類號(hào): C23C14/54;C23C16/52;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/22
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會(huì)華

1.一種立式熱處理裝置，其特征在于，

該立式熱處理裝置包括：

爐主體，在該爐主體的內(nèi)周面上設(shè)有加熱部；

處理容器，其配置在爐主體內(nèi)，在該處理容器和爐主體之間形成有空間，在該處理容器內(nèi)部收納多個(gè)被處理體；

多個(gè)空氣吹出孔，它們?cè)O(shè)在爐主體上；

空氣供給管路，其與爐主體相連接，該空氣供給管路用于借助多個(gè)空氣吹出孔向空間內(nèi)供給冷卻用空氣；

空氣排氣管路，其與爐主體相連接，該空氣排氣管路用于自空間內(nèi)排出冷卻用空氣；

鼓風(fēng)機(jī)，其配置在空氣供給管路和空氣排氣管路中的至少一方上；

空氣供給管路側(cè)閥機(jī)構(gòu)以及空氣排氣管路側(cè)閥機(jī)構(gòu)，該空氣供給管路側(cè)閥機(jī)構(gòu)設(shè)在空氣供給管路上，該空氣排氣管路側(cè)閥機(jī)構(gòu)設(shè)在空氣排氣管路上，

壓力檢測(cè)系統(tǒng)，其用于檢測(cè)爐主體和處理容器之間的空間內(nèi)的壓力，

控制部，該控制部基于來自壓力檢測(cè)系統(tǒng)的檢測(cè)信號(hào)控制鼓風(fēng)機(jī)、空氣供給管路側(cè)閥機(jī)構(gòu)以及空氣排氣管路側(cè)閥機(jī)構(gòu)中的至少一方而使空間內(nèi)的壓力成為微負(fù)壓，

在該立式熱處理裝置中，壓力檢測(cè)系統(tǒng)設(shè)置在爐主體和處理容器之間的空間中的、與空氣吹出孔的設(shè)置區(qū)域相對(duì)應(yīng)的空間區(qū)域。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的立式熱處理裝置，其特征在于，

控制部使空間內(nèi)成為0Pa～-85Pa的微負(fù)壓。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的立式熱處理裝置，其特征在于，

控制部使空間內(nèi)成為-20Pa～-30Pa的微負(fù)壓。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的立式熱處理裝置，其特征在于，

空氣供給管路和空氣排氣管路互相連結(jié)而構(gòu)成封閉系統(tǒng)空氣供給/排氣管路，

在該封閉系統(tǒng)空氣管路上設(shè)有空氣供給以及空氣排氣用的鼓風(fēng)機(jī)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的立式熱處理裝置，其特征在于，

分別獨(dú)立地設(shè)置空氣供給管路和空氣排氣管路而構(gòu)成開放系統(tǒng)空氣供給/排氣管路，

在該空氣供給管路上設(shè)有空氣供給鼓風(fēng)機(jī)，在該空氣排氣管路上設(shè)有空氣排氣鼓風(fēng)機(jī)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的立式熱處理裝置，其特征在于，

控制部基于來自壓力檢測(cè)系統(tǒng)的檢測(cè)信號(hào)控制鼓風(fēng)機(jī)的轉(zhuǎn)速而使空間內(nèi)成為微負(fù)壓。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的立式熱處理裝置，其特征在于，

控制部基于來自壓力檢測(cè)系統(tǒng)的檢測(cè)信號(hào)調(diào)整空氣供給管路側(cè)閥機(jī)構(gòu)的閥開度、或者調(diào)整空氣排氣管路側(cè)閥機(jī)構(gòu)的閥開度，從而使空間內(nèi)成為微負(fù)壓。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的立式熱處理裝置，其特征在于，

壓力檢測(cè)系統(tǒng)具有以貫穿爐主體的方式設(shè)置的壓力檢測(cè)管和設(shè)在壓力檢測(cè)管的出口處的壓力傳感器。