[發明專利]一種六硼化鑭陰極的重復激活工藝

有效

• 申請號: 201110056735.2
• 申請日: 2011-03-10
• 公開（公告）號: CN102157321A
• 公開（公告）日: 2011-08-17
• 發明（設計）人: 吳華夏;江祝苗;孟昭紅;張麗
• 申請（專利權）人: 安徽華東光電技術研究所
• 主分類號: H01J9/50
• 分類號: H01J9/50
• 代理公司: 蕪湖安匯知識產權代理有限公司 34107
• 代理人: 周光

1.一種六硼化鑭陰極重復激活工藝，其特征在于：根據動態真空系統的真空度變化；進行六硼化鑭陰極重復激活工藝；具體包括以下步驟；

(1)所述六硼化鑭陰極因暴露于大氣中的程度不同，其工作的動態真空度將有所區別，首先判斷動態真空系統的真空度，對所述六硼化鑭陰極選擇性進行如下步驟的操作；

(2)當所述六硼化鑭陰極在真空度小于10^-3Pa的動態真空中工作時，所述六硼化鑭陰極無需激活，加熱至陰極工作溫度就可以恢復電子發射；

(3)當所述六硼化鑭陰極在真空度為10^-1Pa～10^-3Pa的動態真空中工作時，將所述六硼化鑭陰極的溫度加熱至1550℃～1600℃，保溫15～25min，然后將所述六硼化鑭陰極的溫度降至工作溫度時，就可以恢復電子發射；

(4)當所述六硼化鑭陰極在真空度為10¹Pa～10^-1Pa的動態真空中工作時，將所述六硼化鑭陰極溫度加熱至1550℃～1600℃，保溫45～55min，然后將所述六硼化鑭陰極溫度降至工作溫度時，就可以恢復電子發射；

(5)當所述六硼化鑭陰極在真空度為10³Pa～10¹Pa的動態真空中工作時，將所述六硼化鑭陰極溫度加熱至1650℃～1700℃，保溫40～55min，然后將所述六硼化鑭陰極溫度降至工作溫度時，就可以恢復電子發射；

(6)當所述六硼化鑭陰極在真空度為10³Pa以上動態真空中工作時，所述六硼化鑭陰極將完全暴露于大氣中，此時需要進行以下操作；

首先將所述六硼化鑭陰極溫度加熱至1550℃～1600℃，保溫15～25min；然后將所述六硼化鑭陰極溫度再加熱至1600℃～1650℃，保溫15～25min；然后將所述六硼化鑭陰極溫度再加熱至1650℃～1700℃，保溫45～55min；再將所述六硼化鑭陰極溫度降至1550℃～1600℃，保溫30～40min；最后將所述六硼化鑭陰極溫度降至工作溫度就可以恢復電子發射。

2.按照權利要求1所述的六硼化鑭陰極重復激活工藝，其特征在于：當所述六硼化鑭陰極暴露于大氣，其表面被顆粒物或其它污染物污染時，具體包括以下步驟；

(1)將所述六硼化鑭陰極放入裝滿純度為分析純的丙酮或乙醚溶液中，放入超生波清洗器中進行超生波清洗以去除污染物，超生波清洗時間為8～10min；在所述六硼化鑭陰極清洗完成后，將其放入溫度為60℃～80℃烤箱中烘烤180～200min以去除所述六硼化鑭陰極表面滲入的丙酮或乙醚溶液；

(2)判斷動態真空系統的真空度，對所述六硼化鑭陰極選擇性進行如下步驟的操作；

(3)當所述六硼化鑭陰極在真空度小于10^-3Pa的動態真空中工作時，所述六硼化鑭陰極無需激活，加熱至陰極工作溫度就可以恢復電子發射；

(4)當所述六硼化鑭陰極在真空度為10^-1Pa～10^-3Pa的動態真空中工作時，將所述六硼化鑭陰極的溫度加熱至1550℃～1600℃，保溫15～25min，然后將所述六硼化鑭陰極的溫度降至工作溫度時，就可以恢復電子發射；

(5)當所述六硼化鑭陰極在真空度為10¹Pa～10^-1Pa的動態真空中工作時，將所述六硼化鑭陰極溫度加熱至1550℃～1600℃，保溫40～55min，然后將所述六硼化鑭陰極溫度降至工作溫度時，就可以恢復電子發射；

(6)當所述六硼化鑭陰極在真空度為10³Pa～10¹Pa的動態真空中工作時，將所述六硼化鑭陰極溫度加熱至1650℃～1700℃，保溫45～55min，然后將所述六硼化鑭陰極溫度降至工作溫度時，就可以恢復電子發射；

(7)當所述六硼化鑭陰極在真空度為10³Pa以上動態真空中工作時，所述六硼化鑭陰極將完全暴露于大氣中，此時需要進行以下操作；

首先將所述六硼化鑭陰極溫度加熱至1550℃～1600℃，保溫15～25min；然后將所述六硼化鑭陰極溫度再加熱至1600℃～1650℃，保溫15～25min；然后將所述六硼化鑭陰極溫度再加熱至1650℃～1700℃，保溫45～55min；再將所述六硼化鑭陰極溫度降至1550℃～1600℃，保溫30～40min；最后將所述六硼化鑭陰極溫度降至工作溫度就可以恢復電子發射。