[發(fā)明專利]用來降低顯示器系統(tǒng)里散斑效應(yīng)的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110055704.5
• 申請(qǐng)日: 2011-03-09
• 公開（公告）號(hào): CN102207634A
• 公開（公告）日: 2011-10-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳奕泉;馮耀軍;李致淳;陳浩然
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 香港應(yīng)用科技研究院有限公司
• 主分類號(hào): G02B27/48
• 分類號(hào): G02B27/48;G02B26/08
• 代理公司: 深圳新創(chuàng)友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44223
• 代理人: 江耀純

1.一種MEMS裝置，用來降低激光掃描顯示器里散斑效應(yīng)，包括：

一個(gè)活動(dòng)板，其被設(shè)置以在活動(dòng)板的至少一個(gè)水平平面上周期性地振動(dòng)，和/或在活動(dòng)板的至少一個(gè)垂直平面上周期性地振動(dòng)；

一個(gè)或多個(gè)第一致動(dòng)器，其被設(shè)置以在至少第一方向上周期性地移動(dòng)活動(dòng)板；

一個(gè)或多個(gè)第二致動(dòng)器，其被設(shè)置以在至少第二方向上周期性地移動(dòng)活動(dòng)板；和

一個(gè)鏡，其被集成制作在活動(dòng)板內(nèi)，用于反射一入射激光束，使得入射激光束依照入射時(shí)間以不同角度射于該鏡，導(dǎo)致入射光束被反射和/或發(fā)散，具有時(shí)變特性，降低了被反射和/或被發(fā)散的入射光束的相干性。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS裝置，其中：

致動(dòng)器是靜電梳狀結(jié)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS裝置，其中：

致動(dòng)器是磁致動(dòng)器。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS裝置，其中：

致動(dòng)器是壓電致動(dòng)器。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS裝置，其中：

活動(dòng)板是三角形形狀。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS裝置，其中：

所述鏡是一個(gè)雙軸掃描鏡。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的MEMS裝置，其中：

第一致動(dòng)器在不同時(shí)間沿著第一方向移動(dòng)活動(dòng)板的每個(gè)側(cè)邊，使得入射激光束以不同角度射于所述鏡，從而形成一個(gè)反射激光束的圓形軌跡。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS裝置，其中：

一個(gè)或多個(gè)第一梳齒沿著活動(dòng)板的一個(gè)外緣排列，并沿著活動(dòng)板的一個(gè)相對(duì)外緣排列。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS裝置，其中：

在活動(dòng)板頂部上的鏡的至少一部分被涂敷有一發(fā)散層。

10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的MEMS裝置，其中：

發(fā)散層的表面被涂敷有一反射涂層。

11.根據(jù)權(quán)利要求3所述的MEMS裝置，其中：

發(fā)散層的表面被粗化。

12.根據(jù)權(quán)利要求3所述的MEMS裝置，其中：

發(fā)散層是一圖案化的絕緣膜。

13.根據(jù)權(quán)利要求3所述的MEMS裝置，其中：

發(fā)散層在其表面至少有一聚合物結(jié)構(gòu)。

14.根據(jù)權(quán)利要求3所述的MEMS裝置，其中：

在雙軸掃描鏡頂部和發(fā)散層之間提供一反射涂層。

15.根據(jù)權(quán)利要求9所述的MEMS裝置，其中：

發(fā)散層是由不均勻的相變聚合物構(gòu)成。

16.一個(gè)使用如權(quán)利要求1所述MEMS裝置的光學(xué)系統(tǒng)，還包括：

一個(gè)照明源，其發(fā)射一個(gè)或多個(gè)激光束，一個(gè)或多個(gè)激光束被射到MEMS裝置的鏡上，從而以掃描方式被反射以產(chǎn)生一個(gè)圖像在顯示器上。

17.一個(gè)使用如權(quán)利要求1所述MEMS裝置的光學(xué)系統(tǒng)，還包括：

一個(gè)照明源，其發(fā)射一個(gè)或多個(gè)激光束，一個(gè)或多個(gè)激光束被射到一個(gè)MEMS裝置的周期性振動(dòng)活動(dòng)板上，從而被反射；

至少一個(gè)額外的MEMS裝置，該MEMS裝置是權(quán)利要求1所述的MEMS裝置，其被安置以接收并以掃描方式反射從周期性振動(dòng)活動(dòng)板反射出的激光束，以產(chǎn)生一個(gè)圖像在顯示器上。