[發明專利]一種用于3寸多晶硅生長的裝置及方法

無效

• 申請號: 201110055703.0
• 申請日: 2011-03-09
• 公開（公告）號: CN102140682A
• 公開（公告）日: 2011-08-03
• 發明（設計）人: 柳祝平;黃小衛
• 申請（專利權）人: 元亮科技有限公司
• 主分類號: C30B28/10
• 分類號: C30B28/10;C30B29/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于3”多晶硅生長裝置，其裝置包括：隔板，上下傳動機構，驅動電機；

2.根據權利要求1所述的一種用于3”多晶硅生長裝置，其中所述隔板由石英材料制成，空心圓柱形，內徑200mm，厚度10mm，高度30mm；

3.根據權利要求1所述的一種用于3”多晶硅生長方法，其特征在于下種前，啟動驅動電機，將隔板下降到硅液上方預熱，待隔板溫度與硅液溫度接近后，下降隔板至硅液面上，隔板上端高出硅液面5mm，下端浸沒于硅液中，并在拉晶過程中一直保持此狀態，隔板5mm以下開有若干孔隙，均勻分布于距隔板5mm以下處，用來維持硅液混合均勻；

4.根據權利要求1或2所述的一種用于3”多晶硅生長裝置，其中所述上下傳動機構位于爐蓋右上方，用于支持隔板上下移動，以保持隔板上端始終高于硅液面5mm；

5.根據權利要求1，2或3所述的一種用于3”多晶硅生產裝置，其中所述驅動電機用于支持上下傳動機構。