[發明專利]流體施放器和玻璃清洗工藝

有效

• 申請號: 201110053371.2
• 申請日: 2011-02-17
• 公開（公告）號: CN102218409A
• 公開（公告）日: 2011-10-19
• 發明（設計）人: 陳源祿;查森武
• 申請（專利權）人: 康寧股份有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B11/04
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 張蘭英;丁曉峰

優先權聲明

本申請要求2010年2月17日提交的美國臨時專利申請系列第61/305250號的優先權權益。

技術領域

本發明涉及對玻璃板施加流體的設備和清除玻璃板顆粒物的方法。更確切地說，本發明涉及為清除玻璃板顆粒物而對玻璃板施加流體的方法和設備。

背景技術

由于平板顯示器制造工藝中精制能力的增強，因而對更清潔部件的需求已日益增大。此種精制能力已增強到如下水平：玻璃板用作諸如液晶顯示器(LCD)和有機發光二極管(OLED)顯示器之類、如今需要使表面基本上沒有尺寸為1微米數量級以上缺陷的顯示器應用的基板。因此，需要從用作顯示器基板的玻璃板表面清除非常小的顆粒。此外，這些玻璃板通常具有小于或等于1.2mm的厚度。由于玻璃板的非常薄的性質，因而當執行洗滌操作時，通常傾向于使用高流量和低壓，以不損壞薄的玻璃板。雖然這些洗滌操作適合于從玻璃板移除洗滌劑和大顆粒物，然而當試圖移除小顆粒物(即，1到50μm的數量級)時，已留下非常大的改進空間。

發明內容

本發明目的在于提供可從具有小于或等于1.2mm厚度的玻璃板表面有效地清除小顆粒物(即1到50μm數量級)的設備和方法。發明人已發現小顆粒物非常強地粘連于玻璃表面，然而通過仔細地控制流體噴嘴的多個操作參數，可有效地移除小顆粒物，而不會提高刮傷玻璃的風險，這些操作參數包括：流體壓力；流量；噴嘴噴射角；以及噴射噴嘴和玻璃板表面之間的距離。事實上，發明人已發現具有高壓和低流量的裝置(與傳統玻璃洗滌操作中的裝置正好相反)能極其有效地從薄玻璃板的表面移除小顆粒物。此外通過仔細地控制流體噴嘴的上述操作參數，可避免對薄玻璃板造成損害。

以下將詳細闡述附加特征和優點，而且這些附加特征和優點部分地對于本領域的技術人員來說可以從說明書中顯而易見，或者可通過以下說明書以及附圖中所述的本發明的實踐而認識到。應當理解，以上的總體說明和以下的詳細說明都只是本發明的示例，意在提供對要求保護的本發明的本質和特征的總體或構架的理解。

包括附圖以提供本發明的原理的進一步理解，附圖包含在該說明書中并構成該說明書的一部分。這些附圖示出一個或多個實施例，且與說明書一起借助示例來解釋本發明的原理和操作。應理解的是，可以以任何組合和所有的組合來使用在說明書和附圖中披露的本發明的各種特征。借助非限制示例，根據以下方面中的闡述可組合實施例的各種特征。

根據第一方面，提供一種從玻璃板清除顆粒物的方法，該方法包括：

對玻璃板進行支承；

使流體從噴嘴朝玻璃板噴射，其中該流體以10到80kg/m²的壓力和從1到20l/min的流量輸送至噴嘴；以及

使玻璃板和噴嘴沿傳送方向進行相對運動。

根據第二方面，提供如方面1所述的方法，其中，相對運動使玻璃板以4到6m/min的傳送速度相對于噴嘴運動。

根據第三方面，提供如方面1到2中任一方面所述的方法，其中，噴嘴設置成離玻璃板具有100mm以下的距離。

根據第四方面，提供如方面1到3中任一方面所述的方法，其中，玻璃板小于1.2mm厚。

根據第五方面，提供如方面1到4中任一方面所述的方法，其中，噴嘴具有孔，且孔的直徑是0.2到1.0mm。

根據第六方面，提供如方面1到5中任一方面所述的方法，其中，

當孔直徑是從0.3mm到0.5mm時，流量是1到5l/min；以及

當孔直徑是從0.9mm到1.1mm時，所述流量是3到20l/min。

根據第七方面，提供如方面1到6中任一方面所述的方法，其中，

從噴嘴噴射的流體形成30到90度的扇角；以及

從噴嘴噴射的流體相對于玻璃板具有30-90度的傾斜角度。

根據第八方面，提供如方面1到7中任一方面所述的方法，其中，該方法還包括多個噴嘴，該多個噴嘴設置成兩排，這些排設置成相對彼此成30到150度的角度，且這些排的中心線與傳送方向對準或平行。

根據第九方面，提供如方面1到7中任一方面所述的方法，其中，該方法還包括多個噴嘴，該多個噴嘴設置在一排中，該排設置成相對于垂直于傳送方向的線成15到75度的角度。

根據第十方面，提供如方面1到9中任一方面所述的方法，其中，流體是去離子水。

根據第十一方面，提供如方面1到10中任一方面所述的方法，其中，在已沖洗或洗滌玻璃板之后執行噴射流體的工序。