[發(fā)明專利]光學(xué)測(cè)量裝置和光學(xué)測(cè)量方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110051749.5 | 申請(qǐng)日: | 2011-03-03 |
| 公開(公告)號(hào): | CN102192872A | 公開(公告)日: | 2011-09-21 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 鈴木俊平;今西慎吾;橋本學(xué)治;堂脅優(yōu) | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 索尼公司 |
| 主分類號(hào): | G01N15/14 | 分類號(hào): | G01N15/14;G01N21/64;G01N21/63;G02B27/10 |
| 代理公司: | 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240 | 代理人: | 余剛;吳孟秋 |
| 地址: | 日本*** | 國(guó)省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 光學(xué) 測(cè)量 裝置 測(cè)量方法 | ||
1.一種光學(xué)測(cè)量裝置,包括:
光施加部,被配置為向在通道中流動(dòng)的樣本施加激發(fā)光;以及
散射光檢測(cè)部,被配置為在所述激發(fā)光的傳播方向上,在所述樣本的下游側(cè),檢測(cè)從被所述激發(fā)光照射的所述樣本生成的散射光,
所述散射光檢測(cè)部包括:
散射光分離掩模,用于將所述散射光分離成數(shù)值孔徑不大于特定值的低數(shù)值孔徑分量和數(shù)值孔徑大于所述特定值的高數(shù)值孔徑分量;
第一檢測(cè)器,用于檢測(cè)所述低數(shù)值孔徑分量;以及
第二檢測(cè)器,用于檢測(cè)所述高數(shù)值孔徑分量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)測(cè)量裝置,其中,所述散射光檢測(cè)部進(jìn)一步包括:中繼透鏡系統(tǒng),用于在所述散射光分離掩模上形成共軛面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)測(cè)量裝置,其中,所述低數(shù)值孔徑分量的數(shù)值孔徑不大于0.3。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)測(cè)量裝置,其中,所述高數(shù)值孔徑分量的數(shù)值孔徑不小于0.6。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學(xué)測(cè)量裝置,其中,所述散射光分離掩模透射數(shù)值孔徑不大于0.3的所述低數(shù)值孔徑分量,反射數(shù)值孔徑不小于0.6的所述高數(shù)值孔徑分量,并吸收數(shù)值孔徑大于0.3且小于0.6的其他分量。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學(xué)測(cè)量裝置,其中,所述散射光分離掩模反射數(shù)值孔徑不大于0.3的所述低數(shù)值孔徑分量,透射數(shù)值孔徑不小于0.6的所述高數(shù)值孔徑分量,并吸收數(shù)值孔徑大于0.3且小于0.6的其他分量。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)測(cè)量裝置,進(jìn)一步包括具有微通道的分析薄片,其中,所述光施加部向在所述微通道中流動(dòng)的所述樣本施加所述激發(fā)光。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)測(cè)量裝置,其中,所述散射光檢測(cè)部進(jìn)一步包括用于去除所述激發(fā)光的激發(fā)光屏蔽掩模。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)測(cè)量裝置,進(jìn)一步包括:
熒光檢測(cè)部,被配置為檢測(cè)從被所述激發(fā)光照射的所述樣本生成的熒光;以及
濾光器,設(shè)置在所述樣本和所述熒光檢測(cè)部/所述散射光檢測(cè)部之間,用于將所述熒光和所述散射光彼此分離。
10.一種光學(xué)測(cè)量方法,包括以下步驟:
向作為待測(cè)對(duì)象的樣本施加激發(fā)光;
在所述激發(fā)光的傳播方向上,在所述樣本的下游側(cè),將從被所述激發(fā)光照射的所述樣本生成的散射光分離成數(shù)值孔徑不大于特定值的低數(shù)值孔徑分量和數(shù)值孔徑大于所述特定值的高數(shù)值孔徑分量;以及
分別檢測(cè)所述低數(shù)值孔徑分量和所述高數(shù)值孔徑分量。
11.一種光學(xué)測(cè)量裝置,包括:
光施加裝置,用于向通道中流動(dòng)的樣本施加激發(fā)光;以及
散射光檢測(cè)裝置,用于在所述激發(fā)光的傳播方向上,在所述樣本的下游側(cè),檢測(cè)從被所述激發(fā)光照射的所述樣本生成的散射光,
所述散射光檢測(cè)裝置包括:
散射光分離掩模,用于將所述散射光分離成數(shù)值孔徑不大于特定值的低數(shù)值孔徑分量和數(shù)值孔徑大于所述特定值的高數(shù)值孔徑分量;
第一檢測(cè)器,用于檢測(cè)所述低數(shù)值孔徑分量;以及
第二檢測(cè)器,用于檢測(cè)所述高數(shù)值孔徑分量。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于索尼公司,未經(jīng)索尼公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請(qǐng)聯(lián)系【客服】
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