[發(fā)明專利]波像差校正裝置及方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110051545.1 | 申請日： | 2011-03-03 |
| 公開（公告）號： | CN102654733A | 公開（公告）日： | 2012-09-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 段立峰;李映笙;馬明英 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京連和連知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光輝 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 波像差 校正 裝置 方法 | ||
1.一種波像差校正裝置，其特征在于，包括：
波像差測量系統(tǒng)，測量投影物鏡的波像差；
信號處理系統(tǒng)，對所述投影物鏡的波像差進(jìn)行數(shù)據(jù)處理并輸出驅(qū)動電壓信號；
液體鏡頭，設(shè)置在所述投影物鏡中，接受并根據(jù)所述驅(qū)動電壓信號產(chǎn)生物理形變，用以校正所述投影物鏡的波像差。
2.如權(quán)利要求1所述的波像差校正裝置，其特征在于，所述液體鏡頭、波像差測量系統(tǒng)和所述信號處理系統(tǒng)形成閉環(huán)回路，對所述投影物鏡的波像差進(jìn)行測量與校正。
3.如權(quán)利要求1所述的波像差校正裝置，其特征在于，所述液體鏡頭是液體透鏡陣列。
4.如權(quán)利要求1所述的波像差校正裝置，其特征在于，所述液體鏡頭位于接近所述投影物鏡的孔徑光闌處。
5.如權(quán)利要求3所述的波像差校正裝置，其特征在于，所述液體透鏡陣列是由透明底板、透明蓋板和圓形空腔形成的密閉腔室，所述密閉腔室內(nèi)有不相溶的絕緣性液體和導(dǎo)電液體。
6.如權(quán)利要求5所述的波像差校正裝置，其特征在于，所述透明蓋板在所述密閉腔室一側(cè)有多個網(wǎng)孔，所述網(wǎng)孔為呈網(wǎng)狀的突起。
7.如權(quán)利要求6所述的波像差校正裝置，其特征在于，所述網(wǎng)孔呈旋轉(zhuǎn)對稱結(jié)構(gòu)，多個網(wǎng)孔排列是品字狀、行列矩陣狀或者蜂窩狀。
8.如權(quán)利要求6所述的波像差校正裝置，其特征在于，所述絕緣性液體在靠透明蓋板一側(cè)，所述導(dǎo)電液體在靠透明底板一側(cè)，所述網(wǎng)孔端部浸入導(dǎo)電液體中。
9.如權(quán)利要求6所述的波像差校正裝置，其特征在于，所述網(wǎng)孔兩邊分別覆蓋有透明導(dǎo)電薄膜，所述透明導(dǎo)電薄膜外依次覆蓋有絕緣透明介質(zhì)薄膜和疏水性薄膜。
10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的波像差校正裝置，其特征在于，所述透明底板在所述密閉腔室一側(cè)依次覆蓋有透明導(dǎo)電薄膜和親水性薄膜，透明底板上的透明導(dǎo)電薄膜與所述網(wǎng)孔對應(yīng)的部分由絕緣介質(zhì)薄膜隔斷，以形成多個單獨(dú)的液體鏡片。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的波像差校正裝置，其特征在于，所述單獨(dú)的液體鏡片通過透明蓋板的導(dǎo)電薄膜和透明底板的導(dǎo)電薄膜形成兩極單獨(dú)通電。
12.一種使用權(quán)利要求1至4之一所述的波像差校正裝置的波像差校正方法，其特征在于，包括：
步驟1，投影物鏡對位于物面的波像差測量圖形進(jìn)行成像；
步驟2，波像差測量系統(tǒng)在像面測量投影物鏡的波像差，計算所述投影物鏡的波像差與要求值的偏差，擬合為波前誤差，判斷所述波前誤差是否滿足要求，如果滿足則結(jié)束校正，如果不滿足，將所述波前誤差發(fā)送到信號處理系統(tǒng)；
步驟3，所述信號處理系統(tǒng)將接收到的波前誤差轉(zhuǎn)換為液體鏡頭的形變偏差，根據(jù)所述液體鏡頭的形變偏差輸出驅(qū)動直流電壓；
步驟4，驅(qū)動直流電壓使液體鏡頭發(fā)生物理形變，用以校正所述投影物鏡的波像差。
13.如權(quán)利要求11所述的波像差校正方法，其特征在于，所述液體鏡頭是液體透鏡陣列，所述液體透鏡陣列是由透明底板、透明蓋板和圓形空腔形成的密閉腔室，所述密閉腔室內(nèi)有不相溶的絕緣性液體和導(dǎo)電液體。
14.如權(quán)利要求13所述的波像差校正方法，其特征在于，所述驅(qū)動直流電壓使液體鏡頭發(fā)生形變是使絕緣性液體和導(dǎo)電液體的交界面發(fā)生相應(yīng)形變。
15.如權(quán)利要求13所述的波像差校正裝置，其特征在于，所述透明蓋板在所述密閉腔室一側(cè)有多個網(wǎng)孔，所述網(wǎng)孔為呈網(wǎng)狀的突起。
16.如權(quán)利要求15所述的波像差校正裝置，其特征在于，所述網(wǎng)孔呈旋轉(zhuǎn)對稱結(jié)構(gòu)，多個網(wǎng)孔排列是品字狀、行列矩陣狀或者蜂窩狀。
17.如權(quán)利要求15所述的波像差校正裝置，其特征在于，所述絕緣性液體在靠透明蓋板一側(cè)，所述導(dǎo)電液體在靠透明底板一側(cè)，所述網(wǎng)孔端部浸入導(dǎo)電液體中。
18.如權(quán)利要求15所述的波像差校正裝置，其特征在于，所述網(wǎng)孔兩邊分別覆蓋有透明導(dǎo)電薄膜，所述透明導(dǎo)電薄膜外依次覆蓋有絕緣透明介質(zhì)薄膜和疏水性薄膜。
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