[發明專利]位相正交雙頻激光回饋位移測量系統

有效

• 申請號: 201110050006.6
• 申請日: 2011-03-02
• 公開（公告）號: CN102155916A
• 公開（公告）日: 2011-08-17
• 發明（設計）人: 張書練;曾召利;李巖
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246
• 代理人: 黃家俊

1.位相正交雙頻激光回饋位移測量系統，其特征是該系統包括：殼體及底座(15)內：壓電陶瓷(1)、高反射率反射鏡(2)、第二內腔反射鏡(3)、石英晶體(4)、增透窗片(5)、激光增益管(6)、第一內腔反射鏡(7)；殼體及底座(15)外：偏振分光棱鏡(8)、第一光電探測器(9)、第二光電探測器(10)、濾波放大電路(16)、五細分電路(17)、復雜可編程邏輯器芯片及外圍電路(18)；

殼體及底座(15)內從左至右依次為壓電陶瓷(1)、高反射率反射鏡(2)、第二內腔反射鏡(3)、石英晶體(4)、增透窗片(5)、激光增益管(6)、第一內腔反射鏡(7)；殼體及底座(15)外依次為偏振分光棱鏡(8)、第一光電探測器(9)和第二光電探測器(10)、濾波放大電路(16)、五細分電路(17)、復雜可編程邏輯器及外圍電路(18)；

所述石英晶體(4)用于產生頻率分裂，輸出雙頻激光；

所述五細分電路(17)用于對信號進行五細分，輸出兩路有90度位相差的方波信號；

所述復雜可編程邏輯器及外圍電路(18)用于實現四細分，根據兩路90度位相差的方波信號的位相相對超前或滯后來判斷物體位移方向，并對位移的測量結果進行計數和顯示。

2.根據權利要求書1所述位相正交雙頻激光回饋位移測量系統，其特征是所述石英晶體(4)，其切割方向與晶軸平行，左右表面都鍍增透膜。

3.根據權利要求書1所述位相正交雙頻激光回饋位移測量系統，其特征是所述高反射率反射鏡(2)的反射率大于90％。

4.根據權利要求書1所述位相正交雙頻激光回饋位移測量系統，其特征是所述激光增益管(6)內為氦He和氖Ne混合氣體。

5.根據權利要求書4所述位相正交雙頻激光回饋位移測量系統，其特征是所述氦He、氖Ne混合氣體的比例為7∶1。