[發(fā)明專利]針對(duì)BOAC構(gòu)架的改進(jìn)結(jié)構(gòu)無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110045023.0 | 申請(qǐng)日: | 2011-02-24 |
| 公開(公告)號(hào): | CN102136458A | 公開(公告)日: | 2011-07-27 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 王秉杰 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 中穎電子股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L23/00 | 分類號(hào): | H01L23/00;H01L23/528;H01L23/488 |
| 代理公司: | 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 鄭瑋 |
| 地址: | 200335 上*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 針對(duì) boac 構(gòu)架 改進(jìn) 結(jié)構(gòu) | ||
1.一種針對(duì)BOAC構(gòu)架的改進(jìn)結(jié)構(gòu),包括有效電路和設(shè)置于有效電路上方的接合焊盤結(jié)構(gòu),其特征在于,所述接合焊盤結(jié)構(gòu)包括:
第一電介質(zhì)層及位于其下的第二電介質(zhì)層;
接合焊盤,設(shè)置于所述第一電介質(zhì)層上;
鈍化層,設(shè)置于所述第一電介質(zhì)層之上并覆蓋于所述接合焊盤外圍,以在所述接合焊盤上方形成開口區(qū);
第一金屬襯墊,位于所述第二電介質(zhì)層中,且位于所述開口區(qū)正下方對(duì)應(yīng)區(qū)域的外圍,所述第一金屬襯墊與所述接合焊盤通過第一導(dǎo)電通孔電性相連,其中所述第一導(dǎo)電通孔形成于所述第一電介質(zhì)層中。
2.如權(quán)利要求1所述的針對(duì)BOAC構(gòu)架的改進(jìn)結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第二電介質(zhì)層中的位于所述開口區(qū)正下方對(duì)應(yīng)區(qū)域的材質(zhì)為氧化硅、氮化硅、硼磷硅玻璃、氟硅玻璃、磷硅玻璃或其組合。
3.如權(quán)利要求1所述的針對(duì)BOAC構(gòu)架的改進(jìn)結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一導(dǎo)電通孔與所述接合焊盤為一體成型。
4.如權(quán)利要求1所述的針對(duì)BOAC構(gòu)架的改進(jìn)結(jié)構(gòu),其特征在于,所述接合焊盤的材質(zhì)為鎢、鋁、銅或其組合。
5.如權(quán)利要求1所述的針對(duì)BOAC構(gòu)架的改進(jìn)結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一金屬襯墊的材質(zhì)為鎳、鈷、鋁、銅或其組合。
6.如權(quán)利要求1所述的針對(duì)BOAC構(gòu)架的改進(jìn)結(jié)構(gòu),其特征在于,所述接合焊盤結(jié)構(gòu)還包括第三電介質(zhì)層和第二金屬襯墊,所述第二金屬襯墊位于所述第三電介質(zhì)層中,且位于所述開口區(qū)正下方對(duì)應(yīng)區(qū)域的外圍,所述第二金屬襯墊與所述第一金屬襯墊通過第二導(dǎo)電通孔電性相連,其中所述第二導(dǎo)電通孔形成于所述第二電介質(zhì)層中。
7.如權(quán)利要求6所述的針對(duì)BOAC構(gòu)架的改進(jìn)結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第三電介質(zhì)層中的位于所述開口區(qū)正下方對(duì)應(yīng)區(qū)域的材質(zhì)為氧化硅、氮化硅、硼磷硅玻璃、氟硅玻璃、磷硅玻璃或其組合。
8.如權(quán)利要求6所述的針對(duì)BOAC構(gòu)架的改進(jìn)結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第二導(dǎo)電通孔與所述第一金屬襯墊為一體成型。
9.如權(quán)利要求6所述的針對(duì)BOAC構(gòu)架的改進(jìn)結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第二金屬襯墊的材質(zhì)為鎳、鈷、鋁、銅或其組合。
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