[發明專利]靜電致動器及其驅動方法

有效

• 申請號: 201110043026.0
• 申請日: 2011-02-21
• 公開（公告）號: CN102190275A
• 公開（公告）日: 2011-09-21
• 發明（設計）人: 島內岳明;今井雅彥;勝木隆史;豐田治;上田知史
• 申請（專利權）人: 富士通株式會社
• 主分類號: B81B3/00
• 分類號: B81B3/00
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 柳春雷

1.一種用于驅動靜電致動器的驅動方法，所述靜電致動器包括彼此相對的固定電極和可動電極，并且在所述固定電極和所述可動電極之間放置有電介質層，所述方法包括以下步驟：

在所述固定電極和所述可動電極之間施加第一電壓，使所述可動電極與所述電介質層進行接觸，并且

在所述第一電壓的施加停止后并且在所述可動電極從所述電介質層移開之前，在所述固定電極和所述可動電極之間施加第二電壓，所述第二電壓的極性與所述第一電壓的極性相反，并且所述第二電壓的絕對值小于所述第一電壓的絕對值。

2.根據權利要求1所述的用于驅動靜電致動器的驅動方法，

其中，所述第二電壓的絕對值大于所述固定電極和所述可動電極之間的脫離電壓。

3.根據權利要求1或2所述的用于驅動靜電致動器的驅動方法，

其中，所述第一電壓以預定周期被重復地施加。

4.根據權利要求3所述的用于驅動靜電致動器的驅動方法，

其中，每次當所述第一電壓被施加在所述固定電極和所述可動電極之間時，使所述第一電壓的極性逆轉。

5.一種靜電致動器，包括：

襯底；

形成在所述襯底上的固定電極；

形成在所述固定電極上的電介質層；

形成在所述電介質層上方的可動電極；以及

驅動電路，其在所述固定電極和所述可動電極之間施加第一電壓，以使所述可動電極與所述電介質層進行接觸，并且，其在所述第一電壓的施加停止后并且在所述可動電極從所述電介質層移開之前，在所述固定電極和所述可動電極之間施加第二電壓，所述第二電壓的極性與所述第一電壓的極性相反，并且所述第二電壓的絕對值小于所述第一電壓的絕對值。

6.根據權利要求5所述的靜電致動器，

其中，所述驅動電路施加的所述第二電壓的絕對值大于所述固定電極和所述可動電極之間的脫離電壓。

7.根據權利要求5或6所述的靜電致動器，

其中，所述驅動電路以預定周期重復地施加所述第一電壓。

8.根據權利要求7所述的靜電致動器，

其中，每次當所述第一電壓被施加時，所述驅動電路就使所述第一電壓的極性逆轉。