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[發(fā)明專利]發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)及其制造方法無(wú)效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201110042281.3 申請(qǐng)日: 2011-02-22
公開(kāi)(公告)號(hào): CN102544284A 公開(kāi)(公告)日: 2012-07-04
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 王星貿(mào) 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 佛山市奇明光電有限公司;奇力光電科技股份有限公司
主分類號(hào): H01L33/14 分類號(hào): H01L33/14;H01L33/38;H01L33/46;H01L33/00
代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105 代理人: 彭久云
地址: 528237 廣東省佛山*** 國(guó)省代碼: 廣東;44
權(quán)利要求書(shū): 查看更多 說(shuō)明書(shū): 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 發(fā)光二極管 結(jié)構(gòu) 及其 制造 方法
【權(quán)利要求書(shū)】:

1.一種發(fā)光二極管結(jié)構(gòu),包括:

基板;

外延結(jié)構(gòu),位于該基板上,包括:

第一電性半導(dǎo)體層,位于該基板上;

發(fā)光層,位于該第一電性半導(dǎo)體層上;以及

第二電性半導(dǎo)體層,位于該發(fā)光層上;

第一電性電極,與該第一電性半導(dǎo)體層電性連接;

第二電性電極,位于該第二電性半導(dǎo)體層上并與該第二電性半導(dǎo)體層電性連接;以及

電流分布輔助結(jié)構(gòu),位于該發(fā)光層與該第二電性電極之間,并與至少部分該第二電性半導(dǎo)體層電性連接。

2.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極管結(jié)構(gòu),其中該第一電性半導(dǎo)體層為N型氮化鎵系列材料層,該第二電性半導(dǎo)體層為P型氮化鎵系列材料層。

3.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極管結(jié)構(gòu),其中該第一電性半導(dǎo)體層為P型氮化鎵系列材料層,該第二電性半導(dǎo)體層為N型氮化鎵系列材料層。

4.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極管結(jié)構(gòu),其中該第二電性電極包括接觸墊及多個(gè)延伸電極,其中,該多個(gè)延伸電極與該接觸墊電性連接,該多個(gè)延伸電極形成網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。

5.如權(quán)利要求4所述的發(fā)光二極管結(jié)構(gòu),還包括介電層,該介電層設(shè)于該第二電性電極上,其中,該介電層的折射率小于該第二電性半導(dǎo)體層。

6.如權(quán)利要求4所述的發(fā)光二極管結(jié)構(gòu),其中該多個(gè)延伸電極的線寬為小于等于2微米。

7.如權(quán)利要求4所述的發(fā)光二極管結(jié)構(gòu),其中該多個(gè)延伸電極的間距為2至7微米。

8.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極管結(jié)構(gòu),其中該電流分布輔助結(jié)構(gòu)位于該第二電性半導(dǎo)體層之中并與該第二電性半導(dǎo)體層形成歐姆接觸。

9.如權(quán)利要求8所述的發(fā)光二極管結(jié)構(gòu),其中該電流分布輔助結(jié)構(gòu)位于該多個(gè)延伸電極相鄰的兩個(gè)之間。

10.如權(quán)利要求9所述的發(fā)光二極管結(jié)構(gòu),其中該電流分布輔助結(jié)構(gòu)與相鄰該多個(gè)延伸電極其中之一者具有水平間隙,該水平間隙的長(zhǎng)度為0至1微米。

11.如權(quán)利要求9所述的發(fā)光二極管結(jié)構(gòu),其中該電流分布輔助結(jié)構(gòu)的寬度為1至5微米。

12.如權(quán)利要求9所述的發(fā)光二極管結(jié)構(gòu),還包括反射層,該反射層設(shè)于該電流分布輔助結(jié)構(gòu)的一側(cè)。

13.如權(quán)利要求8所述的發(fā)光二極管結(jié)構(gòu),其中該電流分布輔助結(jié)構(gòu)為多個(gè)獨(dú)立結(jié)構(gòu)。

14.如權(quán)利要求8所述的發(fā)光二極管結(jié)構(gòu),其中該電流分布輔助結(jié)構(gòu)為相互連接的整體結(jié)構(gòu)。

15.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極管結(jié)構(gòu),其中該電流分布輔助結(jié)構(gòu)為Ni/Au、Ni/Ag、Ni/Au/Ni或Ni/Ag/Ni。

16.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極管結(jié)構(gòu),其中該電流分布輔助結(jié)構(gòu)為透明導(dǎo)電氧化物薄膜。

17.一種發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)的制造方法,包括:

提供基板、第一電性半導(dǎo)體層、發(fā)光層以及第二電性半導(dǎo)體層的第一部分,其中該第一電性半導(dǎo)體層為P型半導(dǎo)體層及N型半導(dǎo)體層之一者、該第二電性半導(dǎo)體層為P型半導(dǎo)體層及N型半導(dǎo)體層中另一者;

利用光致抗蝕劑定義預(yù)設(shè)的形狀及位置于該第二電性半導(dǎo)體層上;

沉積導(dǎo)電材料層于該第二電性半導(dǎo)體層及該光致抗蝕劑上;

利用剝離法去除該光致抗蝕劑以及位于該光致抗蝕劑上的該導(dǎo)電材料層;

提供第二電性半導(dǎo)體層的第二部分于該導(dǎo)電材料層與該第二電性半導(dǎo)體層的第一部分上;以及

提供第一電性電極與第二電性電極,該第一電性電極與該第一電性半導(dǎo)體層電性連接且該第二電性電極與該第二電性半導(dǎo)體層電性連接,其中,該第二電性電極具有網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。

18.如權(quán)利要求17所述的發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)的制造方法,其中在提供該第一電性電極之前,還包括移除部分的該第二電性半導(dǎo)體層、該發(fā)光層及該第一電性半導(dǎo)體層以曝露出部分的該第一電性半導(dǎo)體層,該第一電性電極形成于該第一電性半導(dǎo)體層上而與該第一電性半導(dǎo)體層電性連接。

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