[發明專利]電子級鹽酸生產方法

有效

• 申請號: 201110041549.1
• 申請日: 2011-02-21
• 公開（公告）號: CN102060271A
• 公開（公告）日: 2011-05-18
• 發明（設計）人: 湯劍波;李東升
• 申請（專利權）人: 上海正帆科技有限公司;上海億欣電子科技有限公司
• 主分類號: C01B7/07
• 分類號: C01B7/07
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司 31001
• 代理人: 翁若瑩

技術領域

本發明涉及一種鹽酸生產方法，尤其涉及一種應用于大規模集成電路所需要的電子級鹽酸生產方法。

背景技術

鹽酸，相對分子量為36.46，是一種強酸，為無色透明液體，與水互溶。濃鹽酸具有極強的揮發性，在空氣中發煙，有刺激性氣味。在常溫(25度)下，濃鹽酸中氯化氫的質量分數在37%左右，密度為1.18g/ml。超凈高純鹽酸為酸性清洗劑和腐蝕劑，可與過氧化氫配合使用，主要用于大規模集成電路工藝技術的生產。

超純鹽酸的制備工藝一般有：間歇蒸餾法、等溫擴散法、亞沸蒸餾法，這些是以前制備超純鹽酸所使用的工藝。等溫擴散法與亞沸蒸餾法生產量很小，在工業生產中基本沒有使用價值，只有在制備少量實驗室超純鹽酸時才使用。間歇蒸餾法現在還被一些生產廠家所使用，但其效率、收率都比較低，另外生產操作也比較繁瑣，不具有連續大規模生產的能力。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是提供一種電子級鹽酸生產方法，實現連續的大規模生產,?工藝簡單，穩定性好。

本發明為解決上述技術問題而采用的技術方案是提供一種電子級鹽酸生產方法，依次包括如下步驟：a)?提供國標試劑級31%的鹽酸原料；b)?上述鹽酸原料經過微濾進入預熱器預熱后進入再沸器內；c)?采用飽和蒸汽對再沸器加熱，加熱產生的鹽酸蒸汽經過冷凝器后得到成品；d)?用自來水對鹽酸尾氣進行吸收處理；e)由步驟c)所得到的成品進入成品儲槽，經過超濾去除顆粒后得到最終的應用于電子行業的鹽酸。

上述的電子級鹽酸生產方法，其中，所述步驟b)中微濾的濾芯采用微米級的PP材質濾芯。

上述的電子級鹽酸生產方法，其中，所述步驟b)中的再沸器外殼采用硼硅玻璃材質，內膽加熱器采用純鉭材質制成，所述飽和蒸汽壓力為4.5～5.5MPa。

上述的電子級鹽酸生產方法，其中，所述步驟c)中再沸器出來的鹽酸蒸汽經過精餾塔進一步提高鹽酸蒸汽純度，所述精餾塔采用硼硅玻璃材質，塔內裝有PFA填料（可溶性聚四氟乙烯）。

上述的電子級鹽酸生產方法，其中，所述步驟c)中冷凝器出來的鹽酸進入成品收集槽，所述成品收集槽由硼硅玻璃制成，從收集槽出來的產品直接流入成品儲槽內，或者通過循環泵部分回流到冷凝器幫助冷凝鹽酸蒸汽。

上述的電子級鹽酸生產方法，其中，所述步驟d)中的鹽酸尾氣采用自來水在除氣塔內進行直接吸收，吸收液直接排入廢水處理系統進行進一步的處理，除氣塔采用硼硅玻璃制作而成，脫氣塔內裝有玻璃填料，以增大氣液接觸面積。

上述的電子級鹽酸生產方法，其中，所述步驟e)中的成品儲槽采用不銹鋼內襯氟材質。

上述的電子級鹽酸生產方法，其中，所述步驟e)中超濾的濾芯為亞微米級全氟材質。

上述的電子級鹽酸生產方法，其中，所述預熱器、冷凝器由硼硅玻璃制成。

本發明對比現有技術有如下的有益效果：本發明提供的電子級鹽酸生產方法，采用31%的國標試劑級鹽酸進行直接連續蒸餾提純的方法得到37%電子級的鹽酸，具有產量能耗比大，生產連續，工藝簡單，穩定性好，設備簡單特點。此外，鹽酸原料的濃度可以無特定的要求，成品的濃度也可以隨意調節。

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附圖說明

圖1為本發明電子級鹽酸生產裝置示意圖；

圖2為本發明電子級鹽酸生產方法流程圖。

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圖中：

1?原料槽?????????????2?預熱器???????????3?冷卻器

4?廢酸槽?????????????5?再沸器???????????6?精餾塔

7?冷凝器?????????????8?除氣塔???????????9?成品收集槽

10?循環泵????????????11?成品儲槽

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本發明作進一步的描述。

圖1為本發明電子級鹽酸生產裝置示意圖；圖2為本發明電子級鹽酸生產方法流程圖。

請參見圖1和圖2，本發明提供的電子級鹽酸生產方法，依次包括如下步驟：

步驟S1：國標試劑級31%的鹽酸原料，鹽酸原料儲存在塑料原料槽1內；

步驟S2：上述鹽酸原料經過微米級的PP材質濾芯過濾后以50-100kg/h的流量進入預熱器2預熱然后進入再沸器5內，預熱器2用于將正常排放的鹽酸廢酸對鹽酸原料進行預熱，這樣極好地減少了熱媒的使用，預熱器由硼硅玻璃制成；從原料預熱器正常排放出來的廢酸，經冷卻器3冷卻后采用廢酸槽4承裝，儲槽采用塑料材質；