[發(fā)明專利]涂布裝置及其液體材料的更換方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110041335.4
• 申請日: 2011-02-18
• 公開（公告）號: CN102179349A
• 公開（公告）日: 2011-09-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔣其晉;賀成明
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: B05C11/10
• 分類號: B05C11/10;B05C5/00;B08B3/00;H01L21/00
• 代理公司: 廣東國暉律師事務(wù)所 44266
• 代理人: 陳琳

【技術(shù)領(lǐng)域】

本發(fā)明涉及一種涂布裝置及其液體材料的更換方法，特別是涉及一種可自動化更換液體材料的涂布裝置及其液體材料的更換方法。

【背景技術(shù)】

通常，涂布裝置是用以液體材料于一表面上，以形成一均勻薄膜于此表面上。例如，在半導(dǎo)體組件制程(semiconductor?devicefabrication)中，涂布裝置可用以涂布光阻于一基材(例如晶圓)上，以形成一均勻光阻層于此基材上。

對應(yīng)于不同的制程，涂布裝置則需更換不同的液體材料，以涂布不同的薄膜于基材上。再者，為了設(shè)備的維護(hù)，需定期或不定期地清洗涂布裝置的流體儲放槽、流體管路或涂布頭。

然而，目前涂布裝置的液體材料更換過程或清洗過程大多是通過人工操作來進(jìn)行。如此，人工操作需耗費(fèi)較多的人力及時(shí)間，且容易發(fā)生操作錯(cuò)誤，因而容易影響涂布制程的效率和質(zhì)量。

故，有必要提供一種涂布裝置及其液體材料的更換方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

本發(fā)明的主要目的在于提供一種涂布裝置，所述涂布裝置包括：

涂布組件；

至少一儲存槽，連接于所述涂布組件；

排空組件，連接于所述涂布組件與所述儲存槽之間，用以排出第一液體材料及/或清洗溶液；

清洗液閥開關(guān)，設(shè)置于清洗溶液槽與所述儲存槽之間，用以切換所述清洗溶液的通入；

第二液體材料閥開關(guān)，設(shè)置于第二液體材料槽與所述儲存槽之間，用以切換第二液體材料的通入；以及

控制單元，電性連接于所述清洗液閥開關(guān)、所述排空組件及所述第二液體材料閥開關(guān)，用以控制所述清洗液閥開關(guān)、所述排空組件及所述第二液體材料閥開關(guān)。

本發(fā)明的另一目的在于提供一種涂布裝置的液體材料的更換方法，所述涂布裝置包括至少一儲存槽、排空組件、清洗液閥開關(guān)、第二液體材料閥開關(guān)及控制單元，所述排空組件是用以排出第一液體材料及/或清洗溶液，所述清洗液閥開關(guān)是用以切換所述清洗溶液的通入，所述第二液體材料閥開關(guān)是用以切換第二液體材料的通入，所述控制單元是電性連接于所述清洗液閥開關(guān)、所述排空組件及所述第二液體材料閥開關(guān)，所述方法包括如下步驟：

利用所述控制單元來控制所述排空組件，以排出所述儲存槽內(nèi)的所述第一液體材料；

利用所述控制單元來控制所述清洗液閥開關(guān)，以通入所述清洗溶液于所述儲存槽內(nèi)；

利用所述控制單元來控制所述排空組件，以排出所述儲存槽內(nèi)的所述清洗溶液；以及

利用所述控制單元來控制所述第二液體材料閥開關(guān)，以通入第二液體材料于所述儲存槽內(nèi)。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述控制單元是依據(jù)預(yù)設(shè)的更換程序或指令來控制所述清洗液閥開關(guān)、所述排空組件及所述第二液體材料閥開關(guān)。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述儲存槽包括第一儲存槽與第二儲存槽，所述涂布裝置還包括自動泵，其連接于所述第一儲存槽與所述第二儲存槽之間。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述涂布裝置還包括自動泵，其連接于所述排空組件與所述涂布組件之間。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述涂布裝置還包括涂布組件，所述方法還包括如下步驟：

在排出所述儲存槽內(nèi)的所述第一液體材料后，利用所述控制單元來控制所述排空組件，以排出所述涂布組件內(nèi)的所述第一液體材料。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述方法還包括如下步驟：

在排出所述儲存槽內(nèi)的所述清洗溶液后且在通入第二液體材料于所述儲存槽內(nèi)之前，利用所述控制單元來控制所述清洗液閥開關(guān)，以通入所述清洗溶液于所述涂布組件及所述儲存槽；

利用所述控制單元來控制所述涂布組件，使所述涂布組件持續(xù)地噴出所述清洗溶液；以及

利用所述控制單元來控制所述排空組件，以排出所述涂布組件及所述儲存槽內(nèi)的所述清洗溶液。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述方法還包括如下步驟：

利用所述控制單元來控制所述排空組件，以排出所述儲存槽內(nèi)的所述第二液體材料。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述涂布裝置還包括涂布組件，所述方法還包括如下步驟：

在排出所述儲存槽內(nèi)的所述第二液體材料后，利用所述控制單元來控制所述第二液體材料閥開關(guān)，以通入所述第二液體材料于所述涂布組件及所述儲存槽內(nèi)。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述方法還包括如下步驟：

利用所述控制單元來控制所述涂布組件，使所述涂布組件在一預(yù)設(shè)時(shí)間內(nèi)持續(xù)地噴出所述第二液體材料；以及

利用所述控制單元來控制所述涂布組件，以停止所述第二液體材料的噴出。