[發明專利]一種離子植入機用離子束監測裝置無效
| 申請號： | 201110038837.1 | 申請日： | 2011-02-16 |
| 公開（公告）號： | CN102646567A | 公開（公告）日： | 2012-08-22 |
| 發明（設計）人： | 陳雪峰;王冬晶 | 申請（專利權）人： | 和艦科技（蘇州）有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/244 | 分類號： | H01J37/244;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京連和連知識產權代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光輝 |
| 地址： | 215025 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 離子 植入 離子束 監測 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種離子植入機用離子束監測裝置，包括有法拉第杯，其特征在于，所述法拉第杯有多個，形成規則排列的矩陣，用以監測離子植入機腔體內多個位置的離子束。
2.根據權利要求1所述的離子植入機用離子束監測裝置，其特征在于，所述矩陣的水平方向和垂直方向分布有相同數量的法拉第杯，形成N×N矩陣。
3.根據權利要求2所述的離子植入機用離子束監測裝置，其特征在于，所述矩陣為16×16矩陣。
4.根據權利要求1至3任一項所述的離子植入機用離子束監測裝置，其特征在于，所述離子植入機用離子束監測裝置用于確定離子束的高度和寬度。
5.根據權利要求1至3任一項所述的離子植入機用離子束監測裝置，其特征在于，所述離子植入機用離子束監測裝置用于確定離子束在水平方向上的分布。
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