[發明專利]電子顯微鏡的樣品室無效
| 申請號: | 201110032114.0 | 申請日: | 2011-01-28 |
| 公開(公告)號: | CN102142347A | 公開(公告)日: | 2011-08-03 |
| 發明(設計)人: | 董全林;姚駿恩;張春熹;于成交;楊彥杰;袁水平;孟凡念;孫茂多 | 申請(專利權)人: | 北京航空航天大學 |
| 主分類號: | H01J37/20 | 分類號: | H01J37/20 |
| 代理公司: | 北京凱特來知識產權代理有限公司 11260 | 代理人: | 鄭立明;田治 |
| 地址: | 100083*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 電子顯微鏡 樣品 | ||
1.一種電子顯微鏡的樣品室,其特征在于,包括:
外殼、上托板、下托板、第一堵頭、第二堵頭、真空法蘭和波紋管;
所述外殼為中空筒體,筒體內設有一環形凸臺,筒壁上設有兩個附件安裝孔和抽真空孔,兩個附件安裝孔和抽真空孔均與外殼的筒體內連通;
上托板扣裝在外殼的一端開口上,固定在外殼的筒體內的所述環形凸臺上;
下托板固定扣裝在上托板上;
所述第一堵頭、第二堵頭分別設置在兩個附件安裝孔上,堵住兩個附件安裝孔;
所述波紋管通過所述真空法蘭設置在所述外殼的筒壁上的抽真空孔上。
2.根據權利要求1所述的電子顯微鏡的樣品室,其特征在于,所述筒壁上設有兩個附件安裝孔和抽真空孔為:兩個附件安裝孔相對設置在筒壁上,抽真空孔設置在兩個附件安裝孔之間筒壁的中間部位。
3.根據權利要求1所述的電子顯微鏡的樣品室,其特征在于,所述外殼的筒壁外面設有多個安裝螺釘的凹槽。
4.根據權利要求1所述的電子顯微鏡的樣品室,其特征在于,所述上托板上設有連通外殼內的丁字形開口。
5.根據權利要求4所述的電子顯微鏡的樣品室,其特征在于,所述上托板上的丁字形開口兩端各設有一斜向通孔。
6.根據權利要求1所述的電子顯微鏡的樣品室,其特征在于,所述下托板上設有連通外殼內的丁字形開口。
7.根據權利要求1所述的電子顯微鏡的樣品室,其特征在于,所述第一堵頭、第二堵頭分別設置在兩個附件安裝孔上包括:在第一堵頭和第二堵頭上均設置O型橡膠密封圈后再設置在兩個附件安裝孔上。
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