[發明專利]接觸掃描探頭的等張力懸吊機構有效
| 申請號： | 201110027424.3 | 申請日： | 2011-01-26 |
| 公開（公告）號： | CN102175198A | 公開（公告）日： | 2011-09-07 |
| 發明（設計）人： | 李瑞君;程真英 | 申請（專利權）人： | 安徽電氣工程職業技術學院 |
| 主分類號： | G01B21/00 | 分類號： | G01B21/00;G01Q30/00 |
| 代理公司： | 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230051 安徽*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 接觸 掃描 探頭 張力 懸吊 機構 | ||
【權利要求書】：
1.接觸掃描探頭的等張力懸吊機構，具有一固定環，固定環內設有懸浮片，懸浮片上面安裝有若干個平面反射鏡，懸浮片中心固定有掃描探針，掃描探針前端具有球形測頭，其特征在于所述的懸浮片內有垂直交叉貫穿的通孔，有一根懸線依次穿過垂直交叉貫穿的通孔并環繞固定在固定環上。
2.根據權利要求1所述的接觸掃描探頭的等張力懸吊機構，其特征在于：所述的平面反射鏡為2-5片。
3.根據權利要求1所述的接觸掃描探頭的等張力懸吊機構，其特征在于：在懸線系緊狀態下，所述的懸浮片處于對稱、水平狀態。
4.根據權利要求1所述的接觸掃描探頭的等張力懸吊機構，其特征在于：所述的垂直交叉的通孔的貫穿點位于機構的重心位置。
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