[發(fā)明專利]銀藍玻璃及制造該銀藍玻璃的工藝有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110021869.0 | 申請日： | 2011-01-20 |
| 公開（公告）號： | CN102173600A | 公開（公告）日： | 2011-09-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王進東 | 申請（專利權(quán)）人： | 南京宇天玻璃有限公司 |
| 主分類號： | C03C17/36 | 分類號： | C03C17/36 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 210000 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 玻璃 制造 工藝 | ||
1.一種銀藍玻璃，其特征在于在玻璃基片上從底層向上依次鍍有第一TiO2膜層，第一SnO2膜層，Co-Ni-Cr-Al-Y膜層，第二TiO2膜層，ZnO2膜層，第二SnO2膜層，Si3N4膜層。
2.權(quán)利要求1中所述的銀藍玻璃，其中所述第一TiO2膜層厚度為8至20納米，所述第一SnO2膜層厚度為20至60納米，所述Co-Ni-Cr-Al-Y膜層厚度為8至20納米，所述第二TiO2膜層厚度為10至15納米，所述ZnO2膜層厚度為3至10納米，所述第二SnO2膜層厚度為20至60納米，所述Si3N4膜層厚度為15至30納米。
3.一種制造銀藍玻璃的方法，其特征在于：
將鍍膜室抽真空至1.1×10-4pa以下，充入工藝氣體，使鍍膜室壓力穩(wěn)定在0.3pa左右，將濺射源送電，靶材開始濺射，送入玻璃基片，將靶材原子或其它化合物沉積到玻璃表面；
第一個鍍膜室充入O2，靶材為Ti靶，將第一TiO2膜沉積到玻璃表面，厚度8至20納米；
第二個鍍膜室充入O2，靶材為Sn靶，在第一TiO2膜上面沉積形成第一SnO2膜，厚度20至60納米；
第三個鍍膜室充入Ar，靶材為Co-Ni-Cr-Al-Y靶，在第一SnO2上面沉積Co-Ni-Cr-Al-Y層，厚度8至20納米；
第四個鍍膜室充入O2，靶材為Ti靶，在Co-Ni-Cr-Al-Y層上沉積第二TiO2膜，厚度10至15納米；
第五個鍍膜室充入O2，靶材為Zn靶，在第二TiO2膜層上沉積ZnO2膜，厚度3至10納米；
第六個鍍膜室充入O2，靶材為Sn靶，在ZnO2膜上沉積第二SnO2膜，厚度20至60納米；
第七個鍍膜室充入N2，靶材為Si靶，在第二SnO2膜上沉積SiN4膜，厚度15至30納米。
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