[發明專利]太陽能電池互連片用鉬/銀層狀金屬基復合材料與制備工藝有效
| 申請號: | 201110008862.5 | 申請日: | 2011-01-17 |
| 公開(公告)號: | CN102169912A | 公開(公告)日: | 2011-08-31 |
| 發明(設計)人: | 黃遠;孔德月;呼文韜;程保義;王玉林 | 申請(專利權)人: | 天津大學 |
| 主分類號: | H01L31/048 | 分類號: | H01L31/048;H01L31/18;H01J37/317;C23C14/48;C23C14/16;C25D3/46;C25D5/50 |
| 代理公司: | 天津市杰盈專利代理有限公司 12207 | 代理人: | 王小靜 |
| 地址: | 300072*** | 國省代碼: | 天津;12 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 太陽能電池 互連 片用鉬 層狀 金屬 復合材料 制備 工藝 | ||
1.一種航天飛行器太陽能電池帆板互連片用鉬/銀層狀金屬基復合材料,其特征在于是以鉬金屬箔為基片經過銀離子注入,再進行無氰電鍍銀和高溫退火制成,銀金屬厚度為5μm,基體鉬金屬厚度為12μm,其中,鉬金屬與銀金屬之間有厚度為1μm的界面擴散層,與太陽能電池片在進行單點電阻點焊時的焊接強度達到460gf。
2.一種權利要求1所述的太陽能電池帆板互連片用鉬/銀層狀金屬基復合材料的制備工藝,其特征在于主要包括鉬金屬箔的打磨和脫脂處理、酸洗活化處理、銀金屬等離子注入、鉬金屬箔表面無氰電鍍覆銀、氬氣保護退火,具體步驟:
1)純鉬金屬箔試片經過打磨、脫脂處理、水洗、硫酸溶液酸洗、水洗完成預處理;
2)在離子注入機上將銀離子注入鉬金屬箔試片中,注入完后試片在離子注入機真空室中放置16小時后取出;
3)使用經過銀離子注入的鉬金屬箔試片為陰極,銀板為陽極,在銀鹽鍍液中進行無氰電鍍覆銀;
4)在氣氛退火爐中于800℃溫度、1個大氣壓的氬氣保護下保溫4小時進行退火。
3.按照權利要求2所述的工藝,其特征在于所述的硫酸溶液為10%的硫酸溶液。
4.按照權利要求2所述的工藝,其特征在于所述的鉬金屬箔試片為200×200×0.012mm。
5.按照權利要求2所述的工藝,其特征在于所述的離子注入過程工藝參數為:
弧壓升至60V,觸發壓升至80V,負壓升至2KV,高壓升至60KV,注入過程中不斷調節觸發頻率,保持束流密度為2.0~2.5μA·cm-2,注入期間真空度保持在1×10-3Pa以下。
6.按照權利要求2所述的工藝,其特征在于所述的銀離子的注入的劑量為1.7×1017ions/cm2,注入能量為126KeV。
7.按照權利要求2所述的工藝,其特征在于所述的銀鹽鍍液和工藝參數:
AgNO3?????????????????30g/L
Na2SO3????????????????100g/L
NaH2PO4???????????????35g/L
檸檬酸鈉??????????????35g/L
硫代氨基脲????????????8g/L
pH????????????????????6-7
溫度??????????????????25℃
電流密度??????????????0.4-2A·dm2。
8.按照權利要求2所述的工藝,其特征在于所述的離子注入機離子注入機的組成部件包括離子源、真空注入室、靶盤、真空系統、高壓和控制柜,其中,真空系統又由擴散泵、維持泵和機械泵組成,真空系統直接與真空注入室通過閥門連接;靶盤位于注入室中;離子源位于注入室上方,與靶盤傾斜相對;注入時,離子源加有弧壓、觸發壓和高壓。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





