[發明專利]微機電系統元件及用于其中的防止變形結構及其制作方法

有效

• 申請號: 201110008099.6
• 申請日: 2011-01-12
• 公開（公告）號: CN102583217A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: 王傳蔚
• 申請（專利權）人: 原相科技股份有限公司
• 主分類號: B81B7/00
• 分類號: B81B7/00;B81C1/00
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 陳肖梅;謝麗娜

1.一種微機電系統元件，設置于一基板上，其特征在于，包含：

一動件；以及

一防止變形結構，其具有：

附著于該基板的一固定栓；

多個金屬層，其包含一最上層金屬層；以及

連接該多個金屬層的多個金屬栓；

其中，該最上層金屬層由俯視圖視之，與該動件具有一部分重疊，且由剖面圖視之，該最上層金屬層的底表面高于該動件頂表面一限制高度。

2.如權利要求1所述的微機電系統元件，其中，該防止變形結構由俯視圖視之位于該微機電系統元件整體結構的內部。

3.如權利要求1所述的微機電系統元件，其中，該微機電系統元件包含至少一彈簧；一與彈簧連接的質量塊；以及與質量塊連接的至少一感測電極區；其中該動件包括該彈簧、該質量塊、與該感測電極區之一或任兩者以上。

4.如權利要求3所述的微機電系統元件，其中，該感測電極區包含以下之一或兩者：同平面感測電極區與出平面感測電極區。

5.如權利要求1所述的微機電系統元件，其中，該最上層金屬層與該動件的重疊部分，寬度至少等于1微米。

6.一種用于微機電系統元件中的防止變形結構，設置于一基板上，其特征在于，該微機電系統元件包含一動件，該防止變形結構包含：

附著于該基板的一固定栓；

多個金屬層，其包含一最上層金屬層；以及

連接該多個金屬層的多個金屬栓，

其中，該最上層金屬層由俯視圖視之，與該動件具有一部分重疊，且由剖面圖視之，該最上層金屬層的底表面高于該動件頂表面一限制高度。

7.如權利要求6所述的防止變形結構，其中，該最上層金屬層與該多個金屬栓中最上層金屬栓，從剖視圖視之，呈為L字形或T字形。

8.如權利要求6所述的防止變形結構，其中，由俯視圖視之，該防止變形結構位于該微機電系統元件的內部。

9.一種微機電系統元件的制作方法，其特征在于，包含：

提供一基板；

形成附著于該基板的一固定栓；

形成多個金屬層與連接該多個金屬層的多個金屬栓，并定義該多個金屬層與該多個金屬栓的圖案，以區分出一動件與一固定結構；以及

在該固定結構上形成金屬栓與最上層金屬層，并使該最上層金屬層由俯視圖視之，與該動件具有一部分重疊，且由剖面圖視之，該最上層金屬層的底表面高于該動件頂表面一限制高度。

10.如權利要求9所述的微機電系統元件的制作方法，其中，該固定結構位于微機電系統元件整體結構的內部。

11.如權利要求9所述的微機電系統元件的制作方法，其中還包含：

形成犧牲層圍繞該多個金屬層與該多個金屬栓、以及在該固定結構上的金屬栓與最上層金屬層；以及

蝕刻去除該犧牲層。