[發(fā)明專利]多晶硅生產(chǎn)中供料和供電同步自動(dòng)控制方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110007394.X
• 申請(qǐng)日: 2011-01-14
• 公開（公告）號(hào): CN102109827A
• 公開（公告）日: 2011-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 董先君;李艷;危敢想;林云志
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 宜昌南玻硅材料有限公司
• 主分類號(hào): G05B19/02
• 分類號(hào): G05B19/02;C01B33/021
• 代理公司: 宜昌市三峽專利事務(wù)所 42103
• 代理人: 成鋼

1.一種多晶硅生產(chǎn)中供料和供電同步自動(dòng)控制方法，其特征在于包括以下的步驟：

1）分時(shí)，以確定合適的時(shí)基；

2）以時(shí)基確定物料投料量和電流值；

3）編制生產(chǎn)控制表；

4）以生產(chǎn)控制表為基礎(chǔ)設(shè)置自動(dòng)控制程序參數(shù)；

通過(guò)上述步驟實(shí)現(xiàn)多晶硅生產(chǎn)中供料和供電同步自動(dòng)控制。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅生產(chǎn)中供料和供電同步自動(dòng)控制方法，其特征在于：自動(dòng)控制程序以時(shí)基為參考點(diǎn)自動(dòng)調(diào)用固化的物料投料量和電流值為目標(biāo)值，并以目標(biāo)值進(jìn)行閉環(huán)自動(dòng)調(diào)節(jié)控制。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅生產(chǎn)中供料和供電同步自動(dòng)控制方法，其特征在于：所述的物料投料量由公式F_ref=F₀+dF/dt確定。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅生產(chǎn)中供料和供電同步自動(dòng)控制方法，其特征在于：所述的電流值由公式I_ref=?i₀+di/dt確定。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅生產(chǎn)中供料和供電同步自動(dòng)控制方法，其特征在于：步驟2中還包括確定輔助參數(shù)的步驟。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種多晶硅生產(chǎn)中供料和供電同步自動(dòng)控制方法，其特征在于：所述的輔助參數(shù)有還原爐夾套進(jìn)出水溫度T₀/T₁、底盤進(jìn)出水溫度T₂/T₃、混合氣入爐溫度T₄/T₅和室內(nèi)外環(huán)境溫度的修正系數(shù)K等。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅生產(chǎn)中供料和供電同步自動(dòng)控制方法，其特征在于：步驟2中還包括根據(jù)室內(nèi)外環(huán)境溫度確定修正系數(shù)K的步驟。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅生產(chǎn)中供料和供電同步自動(dòng)控制方法，其特征在于：所述的時(shí)基為不相等。