[發明專利]金屬氧化物多晶體

無效

• 申請號: 201110006528.6
• 申請日: 2011-01-13
• 公開（公告）號: CN102127736A
• 公開（公告）日: 2011-07-20
• 發明（設計）人: 增田彰;高崎薰;財田真人
• 申請（專利權）人: 宇部材料工業株式會社
• 主分類號: C23C14/08
• 分類號: C23C14/08;C23C14/30;C30B28/02
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 龐立志;高旭軼

1.金屬氧化物多晶體，其是由以摩爾比計為0.2∶0.8～0.8∶0.2的范圍的比例含有鍶和鈣的結晶粒子形成的金屬氧化物多晶體，其中，在將鍶和鈣的總摩爾量設為100摩爾時，以0.0005～20摩爾的范圍的量含有選自由硅、鋁、鈦、鋯和稀土類元素構成的組中的一種以上的金屬元素，并且平均孔徑在0.01～0.50μm的范圍。

2.權利要求1所述的金屬氧化物多晶體，其中，相對密度為90%以上。

3.權利要求1所述的金屬氧化物多晶體，其中，金屬元素為選自由硅、鋁、鈦、鏑構成的組中的一種以上的金屬元素。

4.含有鍶和鈣的金屬氧化物膜的制造方法，包括：在減壓下對權利要求1所述的金屬氧化物多晶體照射電子束，使含有鍶和鈣的氧化物氣化，并將氣化了的氧化物堆積于基板之上。

5.權利要求1所述的金屬氧化物多晶體的制造方法，包括：將以鍶和鈣的摩爾比為0.2∶0.8～0.8∶0.2的范圍的比例分散有碳酸鍶粒子和碳酸鈣粒子、并在將鍶和鈣的總摩爾量設為100摩爾時以0.0005～20摩爾的范圍的量含有選自由硅、鋁、鈦、鋯和稀土類元素構成的組中的一種以上的金屬元素的化合物的、平均粒徑在0.05～2.0μm的范圍的水性分散液進行噴霧干燥而得到干燥粒狀物的工序；將該干燥粒狀物成型為圓片狀的工序；以及對所得圓片狀成型物進行燒成的工序。

6.權利要求1所述的金屬氧化物多晶體的制造方法，包括：將分散有以摩爾比為0.2∶0.8～0.8∶0.2的范圍含有鍶和鈣的碳酸鹽的粒子、并在將鍶和鈣的總摩爾量設為100摩爾時以0.0005～20摩爾的范圍的量含有選自由硅、鋁、鈦、鋯和稀土類元素構成的組中的一種以上的金屬元素的化合物的、平均粒徑在0.05～2.0μm的范圍的水性分散液進行噴霧干燥而得到干燥粒狀物的工序；將該干燥粒狀物成型為圓片狀的工序；以及對所得圓片狀成型物進行燒成的工序。