[發明專利]同軸向雙進給軸量測裝置

無效

• 申請號: 201110006496.X
• 申請日: 2011-01-05
• 公開（公告）號: CN102581703A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: 李俊德
• 申請（專利權）人: 財團法人精密機械研究發展中心
• 主分類號: B23Q17/24
• 分類號: B23Q17/24
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

技術領域

本發明涉及一種量測裝置，特別是涉及一種同軸向雙進給軸量測裝置。

背景技術

請參閱圖1所示，現有一種雙進給軸系統的動柱式龍門加工機1包含二個機臺101、一個位于所述機臺101之間的工作臺102、二支分別沿X軸向可移動地設置于所述機臺101上的立柱103、一個沿Y軸向設置于所述立柱103并可沿Z軸向升降的橫向滑軌104、一個沿Y軸向可移動地設置于該橫向滑軌104的主軸頭105，及二支分別驅動所述立柱103的導螺桿106。一般而言，所述導螺桿106在制造時即會產生制造上的誤差(例如節距上的誤差)，加上所述導螺桿106的長度又很長，因此，所述導螺桿106整體累積產生的誤差，即會造成所述導螺桿106在帶動所述立柱103沿X軸向進給時，產生線性位移誤差。

為了量測所述導螺桿106的線性位移誤差，目前需使用兩套激光干涉儀量測裝置2才能進行量測，所述激光干涉儀量測裝置2分別具有一個設置于固定位置的激光發射及接收頭201、一個設置于其中一個機臺101的分光鏡202、一個設置于其中一支立柱103底部的第一反射鏡203，及一個設置于該分光鏡202的第二反射鏡204。如此，利用所述激光干涉儀量測裝置2量測到的激光干射量測數據，即可判讀出所述導螺桿106的線性位移誤差，以供使用者作為補償調整的參考。

然而，使用兩套激光干涉儀量測裝置2來進行量測，不但會大幅增加儀器設備成本(約為新臺幣200萬元)，更需兩個操作人員才能同時進行操作，而且，所述激光干涉儀量測裝置2的激光發射及接收頭201彼此之間也會產生波長相對誤差與溫度相對誤差，如此，除了會影響量測精度的準確性與可靠度之外，也導致使用者必須進行額外的校正操作。

由此可見，上述現有的量測裝置在結構與使用上，顯然仍存在有不便與缺陷，而亟待加以進一步改進。為了解決上述存在的問題，相關廠商莫不費盡心思來謀求解決之道，但長久以來一直未見適用的設計被發展完成，而一般產品又沒有適切結構能夠解決上述問題，此顯然是相關業者急欲解決的問題。因此如何能創設一種新型結構的同軸向雙進給軸量測裝置，實屬當前重要研發課題之一，亦成為當前業界極需改進的目標。

發明內容

本發明的目的在于，克服現有的量測裝置存在的缺陷，而提供一種新型結構的同軸向雙進給軸量測裝置，所要解決的技術問題是使其提供一種可降低設備成本、操作方便且量測精度佳的同軸向雙進給軸量測裝置，非常適于實用。

本發明的目的及解決其技術問題是采用以下技術方案來實現的。依據本發明一種同軸向雙進給軸量測裝置，提出的其包含一個光發射及接收模塊；一個第一反射鏡，沿一第一方向與該光發射及接收模塊間隔設置，該第一反射鏡與該光發射及接收模塊之間定義出一條第一光路徑；一個第一分光鏡，沿該第一光路徑介于該光發射及接收模塊與該第一反射鏡之間；一個光學組件，沿一垂直于該第一方向的第二方向與該第一分光鏡間隔設置，該光學組件與該第一分光鏡之間定義出一條第二光路徑；及一個第二反射鏡，沿該第一方向與該光學組件間隔設置，該第二反射鏡與該光學組件之間定義出一條第三光路徑。

本發明的目的及解決其技術問題還可采用以下技術措施進一步實現。

前述的同軸向雙進給軸量測裝置，其中所述的該光發射及接收模塊是一種激光光發射及接收模塊。

前述的同軸向雙進給軸量測裝置，其中所述的該第一分光鏡與該光學組件均是一種分光菱鏡，并將該光學組件定義為一個第二分光鏡。

前述的同軸向雙進給軸量測裝置，其中所述的該第一、二反射鏡在該第一方向上互相對應。