[發明專利]一種微型傳感器用溫度控制裝置

無效

• 申請號: 201110006491.7
• 申請日: 2011-01-13
• 公開（公告）號: CN102135438A
• 公開（公告）日: 2011-07-27
• 發明（設計）人: 李枚;施志貴;代剛;何曉平
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院電子工程研究所
• 主分類號: G01D3/028
• 分類號: G01D3/028;B81C1/00
• 代理公司: 中國工程物理研究院專利中心 51210
• 代理人: 翟長明;何勇盛

1.一種微型傳感器用溫度控制裝置，其特征在于：所述的溫度控制裝置包括襯底基板、微加熱器、微溫度敏感器、溫度點控制電路，微加熱器、微溫度敏感器與襯底基板連接，微加熱器、微溫度敏感器與溫度點控制電路電連接。

2.根據權利要求1所述的微型傳感器用溫度控制裝置，其特征在于：所述的微加熱器為電熱式發熱部件。

3.根據權利要求1所述的微型傳感器用溫度控制裝置，其特征在于：所述的微溫度敏感器為電阻式溫度敏感部件。

4.根據權利要求1所述的微型傳感器用溫度控制裝置，其特征在于：所述的溫度點控制電路包括電阻信號檢測部分和信號功率放大部分，電阻信號檢測采用電阻電橋，與微溫度敏感器相連接；信號功率放大部分與電阻橋輸出端連接，將電橋輸出的差模電壓信號進行放大，同時完成功率放大；信號功率放大部分與微加熱器相連接，輸出加熱電流；信號功率放大部分通過調整信號放大增益，使微型傳感器機械敏感芯片局部環境溫度穩定在預設溫度點。