[發明專利]燈單元

有效

• 申請號: 201110005343.3
• 申請日: 2011-01-05
• 公開（公告）號: CN102184837A
• 公開（公告）日: 2011-09-14
• 發明（設計）人: 山森賢治
• 申請（專利權）人: 優志旺電機株式會社
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/268
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 謝麗娜;關兆輝

技術領域

本發明涉及在半導體或液晶基板的制造工序中用于清洗基板等的準分子光照射裝置中，在準分子燈的保持結構具有特征的燈單元。

背景技術

近年來，在半導體或液晶基板的制造工序中，作為除去附著在硅晶片或玻璃基板的表面上的有機化合物等污垢的方法，使用了紫外線的干洗方法被廣泛利用。尤其是在使用了從準分子燈放射的真空紫外線的臭氧等活性氧的清洗方法中，提出有各種以更高效率且短時間進行清洗的清洗裝置。

圖6是示出日本特開2009-252662號公報中公開的紫外線照射裝置100的剖視圖。

紫外線照射裝置100由在構成為箱狀的筐體121內具備準分子燈140的燈單元120；以及載置燈單元120并輸送被照射體W的輸送機構130構成。

燈保持體126延伸到與準分子燈140的兩端相對應的位置。準分子燈140通過燈保持體126由筐體121支撐。輸送機構130通過設置在兩端的驅動部132驅動輥131旋轉，而將被照射體W依次輸送到準分子燈140的正下方。

專利文獻1：日本特開2009-252662號公報

然而，伴隨被照射體W即液晶基板的大型化，要求準分子燈140的長條化。而且，還提出有為了使液晶基板的生產高速化而要求提高紫外線照射裝置100的處理能力，并將準分子燈形成為寬幅的情況。

由于上述理由，準分子燈140有大型化的傾向，但各部件變大而重量增加了的準分子燈140的基于自重的彎曲量增大。準分子燈140由于僅在兩端由燈保持體126支撐，因此存在尤其是中間部的彎曲量增大，被照射體W在準分子燈140的中間部和端部的距離不同，由于紫外線強度的不同而處理效果發生變動的問題。

發明內容

本發明為了解決上述問題而作出，其目的在于提供一種即使在光源中具備全長1800mm以上的大型的準分子燈，也能夠在中間部和端部保持一定的水準的處理效果的燈單元。

本發明的第一發明涉及燈單元，其通過燈保持體支撐準分子燈的兩端而在筐體內配置有準分子燈，該準分子燈具備通過相互相面對配置的上壁面及下壁面、以及將該上壁面及下壁面連結的側壁面形成有截面矩形形狀的管的放電容器，在該放電容器的上壁面和下壁面的外表面設置有電極并在放電容器內封入有氙氣，在該放電容器內產生準分子放電，所述燈單元的特征在于，在所述準分子燈的長邊方向的中間部下方配置有中間支撐體，從下側支撐準分子燈。

另外，本發明的第二發明以第一發明為基礎，其特征在于，所述中間支撐體安裝在所述筐體上。

另外，本發明的第三發明以第二發明為基礎，其特征在于，在所述筐體內并列配置有多個準分子燈，在相鄰的準分子燈之間的固定在筐體的上表面上的中間側面安裝有中間支撐體。

另外，本發明的第四發明以第二或第三發明為基礎，其特征在于，安裝有所述中間支撐體的各個保持部安裝成在準分子燈的長邊方向上不重合。

另外，本發明的第五發明以第二發明為基礎，其特征在于，所述中間支撐體由安裝在筐體上的保持部和支撐準分子燈的支撐部構成，所述支撐部的向準分子燈的下壁面突出的前端的寬度變窄。

另外，本發明的第六發明以第一或第四發明為基礎，其特征在于，所述中間支撐體是從一方的保持部架設到另一方的保持部的金屬線。

發明效果

根據本發明的第一發明的燈單元，由于中間支撐體從下側支撐準分子燈的長邊方向的中間部，因此即使是長條的準分子燈也能夠抑制中間部的彎曲，而且即使準分子燈由于點燈時的熱量而伸長或縮短，中間支撐體也不限制燈的動作而不會產生不需要的應力。

根據本發明的第三發明的燈單元，由于在相鄰的準分子燈之間的固定在筐體的上表面上的中間側面安裝有中間支撐體，因此即使在筐體內并列配置有多個準分子燈的情況下，也能夠抑制各準分子燈的中間部的彎曲，使準分子燈與被照射體的距離恒定，保持一定的水準的處理效果。

根據本發明的第四發明的燈單元，由于安裝有中間支撐體的各個保持部安裝成在準分子燈的長邊方向上不重合，因此使被處理體沿準分子燈的橫向移動而進行處理時，能夠使被支撐部遮光的部分分散而減小影響。

根據本發明的第五發明的燈單元，通過使支撐部的向準分子燈的下壁面突出的前端的寬度變窄，而能夠減小被支撐部遮光的部分，從而減小對處理的影響。

根據本發明的第六發明的燈單元，通過架設金屬線而支撐準分子燈，即使更換為橫寬的長度不同的準分子燈也能夠通過中間支撐體進行支撐。

附圖說明

圖1是示出紫外線照射裝置的剖視圖。

圖2是用于說明燈單元的立體圖。