[發明專利]液體噴射頭、液體噴射裝置和壓電元件

有效

• 申請號: 201110003853.7
• 申請日: 2011-01-04
• 公開（公告）號: CN102152630A
• 公開（公告）日: 2011-08-17
• 發明（設計）人: 繩野真久
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: B41J2/045
• 分類號: B41J2/045;H01L41/18
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李偉;閻文君

1.一種液體噴射頭，其特征在于，具備與噴嘴開口連通的壓力發生室和壓電元件，該壓電元件具有：第一電極；包含鐵錳酸鉍鑭的壓電體層，其形成在上述第一電極上；及第二電極，其形成在上述壓電體層上，

上述壓電體層，在粉末X射線衍射圖案中，按照φ＝ψ＝0°測量時以20°＜2θ＜25°進行觀測的衍射峰值的面積強度，為以20°＜2θ＜50°進行觀測的衍射峰值的面積強度的總和的90％以上。

2.根據權利要求1所述的液體噴射頭，其特征在于，

上述第一電極，包括含有氧化鈦的第一氧化鈦層、在上述第一氧化鈦層上形成的且含有鉑的鉑層、在上述鉑層上形成的且含有氧化鈦的第二氧化鈦層，

在上述第二氧化鈦層上形成有上述壓電體層。

3.根據權利要求1所述的液體噴射頭，其特征在于，

上述第一電極，包括：含有鉑的鉑層；及包含鎳酸鑭的厚度為50nm以上的LNO層，其形成在上述鉑層上，

在上述LNO層上形成有上述壓電體層。

4.根據權利要求1～4中任一項所述的液體噴射頭，其特征在于，

上述鐵錳酸鉍鑭為下述通式表示的復合氧化物，

(Bi_1-x，La_x)(Fe_1-y，Mn_y)O₃(1)

其中，0.10≤x≤0.20，0.01≤y≤0.09。

5.根據權利要求4所述的液體噴射頭，其特征在于，

0.17≤x≤0.20。

6.根據權利要求5所述的液體噴射頭，其特征在于，

0.19≤x≤0.20。

7.根據權利要求4～6中任一項所述的液體噴射頭，其特征在于，

0.01≤y≤0.05。

8.一種液體噴射裝置，其特征在于，

具有權利要求1～7中任一項所述的液體噴射頭。

9.一種壓電元件，其特征在于，具有：

含有鐵錳酸鉍鑭的壓電體層；及

在上述壓電體層上形成的電極，

上述壓電體層，在粉末X射線衍射圖案中，按照φ＝ψ＝0°測量時以20°＜2θ＜25°進行觀測的衍射峰值的面積強度，為以20°＜2θ＜50°進行觀測的衍射峰值的面積強度的總和的90％以上。