[發明專利]用于三明治結構MEMS硅電容壓力傳感器側墻保護方法有效
| 申請號： | 201110003525.7 | 申請日： | 2011-01-10 |
| 公開（公告）號： | CN102169038A | 公開（公告）日： | 2011-08-31 |
| 發明（設計）人： | 朱健;賈世星;侯智昊;吳璟;黃鎮 | 申請（專利權）人： | 中國電子科技集團公司第五十五研究所 |
| 主分類號： | G01L9/12 | 分類號： | G01L9/12;B81C3/00 |
| 代理公司： | 南京君陶專利商標代理有限公司 32215 | 代理人： | 沈根水 |
| 地址： | 210016 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 三明治 結構 mems 電容 壓力傳感器 保護 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于玻璃-硅-玻璃或硅-硅-玻璃三明治結構的MEMS電容式壓力傳感器側墻保護方法，其特征是在玻璃-硅-玻璃或硅-硅-玻璃三明治結構的MEMS電容式壓力傳感器制作過程中，在導氣孔前引入輔助側墻，用于阻止灰塵、水進入電容間隙，輔助側墻與底層玻璃之間設置氮化硅薄膜，防止輔助側墻與底層玻璃鍵合，使在芯片分離后，側墻自動脫離芯片。
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