[發明專利]一種氧化鎂蒸鍍裝置

無效

• 申請號: 201110002523.6
• 申請日: 2011-01-07
• 公開（公告）號: CN102051575A
• 公開（公告）日: 2011-05-11
• 發明（設計）人: 金燁;屠彥;楊蘭蘭;王莉莉;蔡國龍;馬善樂;張盼盼;秦娜娜
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/50;C23C14/08;C23C14/30
• 代理公司: 南京天翼專利代理有限責任公司 32112
• 代理人: 王清義

技術領域

本發明涉及一種氧化鎂蒸鍍裝置，尤其是一種適合超薄等離子體顯示器使用的氧化鎂蒸鍍裝置。

背景技術

目前的蔭罩式等離子體氧化鎂蒸鍍裝置，是使用鋁箔簡易覆蓋其前后基板表面，僅露出需要蒸鍍氧化鎂的區域，然后用夾子將基板玻璃固定在鋁架上，最后放入真空蒸鍍箱里蒸鍍氧化鎂。由于傳統等離子體顯示板的基板玻璃厚度達2.8mm，具有強度好，不易破裂和翹曲等特性，因而可采用常規的蔭罩式等離子體氧化鎂蒸鍍裝置。但是對于超薄等離子體顯示板，基板玻璃厚度僅為幾十微米(所以稱之為超薄基板玻璃)，當受到過大的壓力或扭曲力時，超薄基板玻璃將會破裂。如果把傳統的等離子體顯示器氧化鎂蒸鍍裝置應用到超薄等離子體顯示器中時，會出現超薄基板玻璃在蒸鍍過程中發生破裂和偏移等問題，產品合格率低。所以超薄等離子體顯示器使用的氧化鎂蒸鍍裝置，不僅需要有效地保護超薄基板玻璃，而且還需要保證超薄基板玻璃在整個蒸鍍過程中不會發生偏移。

發明內容

本發明的目的是提供一種超薄基板玻璃在蒸鍍過程中不會發生破裂和偏移，以保證產品合格率，且操作簡單、成本低廉的氧化鎂蒸鍍裝置。

本氧化鎂蒸鍍裝置，包括一塊襯底玻璃，襯底玻璃的上部放置有一對超薄基板玻璃；帶有兩個方孔的鋁箔覆蓋襯底玻璃，方孔中心對準超薄基板玻璃；使用襯底玻璃固定夾子將鋁箔和襯底玻璃固定在襯底玻璃下部的鋁板上，由墊有鋁片的超薄基板玻璃固定夾子將超薄基板玻璃固定在襯底玻璃上，鋁板固定在其下部的鋁架上。

本發明的有益效果：本發明裝置在傳統氧化鎂蒸鍍裝置基礎上，采用襯底玻璃支撐超薄基板玻璃，能有效地保護和固定超薄基板玻璃，防止了超薄基板玻璃在蒸鍍過程中的破裂和偏移，保證產品合格率接近100％。鋁片對超薄基板玻璃固定夾子產生的力進行分壓，防止超薄基板玻璃固定夾子在將超薄基板玻璃固定襯底玻璃上的同時，壓壞超薄基板玻璃。

上述的蒸鍍裝置，在兩個方孔中間的鋁箔上放置有沿襯底玻璃寬度方向延伸的鋁條，使用襯底玻璃固定夾子將鋁條、鋁箔和襯底玻璃固定在鋁板上，鋁條的長度等于襯底玻璃寬度。考慮到鋁箔在高溫下軟化翹曲會影響氧化鎂蒸鍍區域，在兩個方孔中間的鋁箔上放置鋁條，并使用襯底玻璃固定夾子將鋁條、鋁箔和襯底玻璃固定在鋁板上。也就是說，鋁條有兩個作用：防止鋁箔高溫翹曲，固定超薄基板玻璃。

上述的蒸鍍裝置，襯底玻璃為平整度極高且耐高溫的襯底玻璃。襯底玻璃作為超薄基板玻璃的承載體，要求平整度高、耐高溫，可選用鈉鈣玻璃、PD200玻璃等。

上述的蒸鍍裝置，兩個方孔中心間距等于超薄基板玻璃邊長。

上述的蒸鍍裝置，襯底玻璃上刻有的用于確定蒸鍍區域的基準點。

上述的蒸鍍裝置，襯底玻璃固定夾子與超薄基板玻璃固定夾子所在的鉆孔位置離襯底玻璃邊線的距離差值大于襯底玻璃的寬度與超薄基板玻璃邊長差值的一半，而小于夾子的長度。這樣是為了適用統一的夾子，方便制作裝置。蒸鍍的超薄基板玻璃可以緊湊排布，因此節省了鋁箔與襯底玻璃材料，縮小裝置體積。此外還可以保證襯底玻璃固定夾子壓到襯底玻璃時不碰到超薄基板玻璃(襯底玻璃固定夾子壓力很大，會壓裂超薄基板玻璃)。

附圖說明

圖1為超薄等離子體顯示器氧化鎂蒸鍍裝置示意圖。

圖2為氧化鎂蒸鍍裝置在蒸鍍過程中示意圖。

圖中，鋁板1，襯底玻璃2，鋁箔3，鋁架4，鋁條5，鋁片6，超薄基板玻璃7，襯底玻璃固定夾子8，超薄基板玻璃固定夾子9，鋁板固定夾子10，氧化鎂濺射源11，電子槍12。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本發明作進一步的說明。

如圖1所示的超薄蔭罩式等離子體顯示器氧化鎂蒸鍍裝置，包括襯底玻璃2，襯底玻璃2上方放有一對超薄基板玻璃7，用酒精將超薄基板玻璃固定在襯底玻璃2上，接著用帶有兩個方孔的鋁箔3包裹襯底玻璃2，在鋁箔3中線處放置鋁條5，由兩個襯底玻璃固定夾子8將鋁條5、鋁箔3、襯底玻璃2固定在鋁板1上，再用四個超薄基板玻璃固定夾子9通過鋁片6將鋁箔3、超薄基板玻璃固定在襯底玻璃2上，再由鋁板固定夾子10將鋁板1固定在鋁架4上。

具體說明如下：

在本蒸鍍裝置中，先在襯底玻璃上標記基準點，用于確定超薄基板玻璃的安放位置。超薄基板玻璃安放在襯底玻璃上后，為了防止超薄基板玻璃在鋁箔包裹時偏移，可用針筒滴數滴酒精在超薄基板玻璃邊緣處加以固定。在鋁箔上刻取兩個邊長等于封接框邊長、間距等于超薄基板玻璃邊長的方孔，然后包裹在襯底玻璃上，確保方孔中心與超薄基板玻璃中心吻合。