[發(fā)明專(zhuān)利]薄膜晶體管、開(kāi)關(guān)電路以及場(chǎng)效應(yīng)晶體管

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110002057.1
• 申請(qǐng)日: 2011-01-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102130156A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-07-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 尾關(guān)芳孝;桑原康人;鳥(niǎo)山重隆;池田裕幸
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 索尼公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L29/768
• 分類(lèi)號(hào): H01L29/768;G09G3/36;G02F1/1368
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

1.一種薄膜晶體管，包括：

半導(dǎo)體層，包括：源極區(qū)、漏極區(qū)和溝道區(qū)，其中，所述溝道區(qū)設(shè)置在所述源極區(qū)和所述漏極區(qū)之間；以及

柵電極，與所述溝道區(qū)交疊，其中，所述溝道區(qū)包括被配置為在長(zhǎng)度方向上連續(xù)減小和連續(xù)增大中的至少一種的至少一部分溝道寬度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜晶體管，其中，所述溝道寬度的至少第一部分被配置為在所述長(zhǎng)度方向上連續(xù)增大，所述溝道寬度的至少第二部分被配置為在所述長(zhǎng)度方向上連續(xù)減小。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜晶體管，其中，所述至少一部分溝道寬度被配置為在所述長(zhǎng)度方向上線(xiàn)性增大和線(xiàn)性減小中的至少一種。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜晶體管，其中，所述溝道區(qū)包括多個(gè)溝道區(qū)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的薄膜晶體管，其中，所述多個(gè)溝道區(qū)包括具有第一溝道寬度的第一溝道區(qū)和具有第二溝道寬度的第二溝道區(qū)，并且其中，所述第一溝道寬度和所述第二溝道寬度被配置為在所述長(zhǎng)度方向上連續(xù)減小和連續(xù)增大中的至少一種。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的薄膜晶體管，其中，所述多個(gè)溝道區(qū)包括第三溝道區(qū)，所述第三溝道區(qū)具有在所述長(zhǎng)度方向上尺寸均勻的第三溝道寬度。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的薄膜晶體管，其中，所述第三溝道區(qū)設(shè)置在所述第一溝道區(qū)和所述第二溝道區(qū)之間。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的薄膜晶體管，其中，所述多個(gè)溝道區(qū)中的至少兩個(gè)具有不同的溝道長(zhǎng)度。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜晶體管，其中，所述溝道寬度包括指向所述源極區(qū)的源極溝道寬度部分以及指向所述漏極區(qū)的漏極溝道寬度部分，并且其中，所述源極溝道寬度部分的尺寸大于所述漏極溝道寬度部分。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜晶體管，其中，所述溝道寬度包括指向所述源極區(qū)的源極溝道寬度部分以及指向所述漏極區(qū)的漏極溝道寬度部分，并且其中，所述源極溝道寬度部分的尺寸小于所述漏極溝道寬度部分。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜晶體管，其中，所述溝道寬度包括指向所述源極區(qū)的源極溝道寬度部分以及指向所述漏極區(qū)的漏極溝道寬度部分，并且其中，所述源極溝道寬度部分與所述漏極溝道寬度部分的尺寸相等。

12.一種開(kāi)關(guān)電路，包括薄膜晶體管，所述薄膜晶體管包括：

半導(dǎo)體層，包括：源極區(qū)、漏極區(qū)和溝道區(qū)，其中，所述溝道區(qū)設(shè)置在所述源極區(qū)和所述漏極區(qū)之間；

柵電極，其與所述溝道區(qū)交疊，其中，所述溝道區(qū)包括被配置為在長(zhǎng)度方向上連續(xù)減小和連續(xù)增大中的至少一種的至少一部分溝道寬度。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的開(kāi)關(guān)電路，其中，所述溝道寬度的至少第一部分被配置為在所述長(zhǎng)度方向上連續(xù)增大，所述溝道寬度的至少第二部分被配置為在所述長(zhǎng)度方向上連續(xù)減小。

14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的開(kāi)關(guān)電路，其中，所述至少一部分溝道寬度被配置為在所述長(zhǎng)度方向上線(xiàn)性增大和線(xiàn)性減小中的至少一種。

15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的開(kāi)關(guān)電路，其中，所述溝道區(qū)包括多個(gè)溝道區(qū)。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的開(kāi)關(guān)電路，其中，所述多個(gè)溝道區(qū)包括具有第一溝道寬度的第一溝道區(qū)以及具有第二溝道寬度的第二溝道區(qū)，并且其中，所述第一溝道寬度和所述第二溝道寬度被配置為在所述長(zhǎng)度方向上連續(xù)減小和連續(xù)增大中的至少一種。

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的開(kāi)關(guān)電路，其中，所述多個(gè)溝道區(qū)包括第三溝道區(qū)，所述第三溝道區(qū)具有在所述長(zhǎng)度方向上尺寸均勻的第三溝道寬度。

18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的開(kāi)關(guān)電路，其中，所述第三溝道區(qū)設(shè)置在所述第一溝道區(qū)和所述第二溝道區(qū)之間。

19.根據(jù)權(quán)利要求15所述的開(kāi)關(guān)電路，其中，所述多個(gè)溝道區(qū)中的至少兩個(gè)具有不同的溝道長(zhǎng)度。

20.根據(jù)權(quán)利要求12所述的開(kāi)關(guān)電路，其中，所述溝道寬度包括指向所述源極區(qū)的源極溝道寬度部分以及指向所述漏極區(qū)的漏極溝道寬度部分，并且其中，所述源極溝道寬度部分的尺寸大于所述漏極溝道寬度部分。