[其他]基于碳納米管的太陽能電池及形成其的設備

有效

• 申請號: 201090000947.8
• 申請日: 2010-06-09
• 公開（公告）號: CN202839630U
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發明（設計）人: O·那拉瑪蘇;C·蓋伊;V·L·普施帕拉吉;K·K·辛格;R·J·維瑟;M·A·孚德;R·霍夫曼
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: H01L31/042
• 分類號: H01L31/042
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 陸勍

1.一種太陽能電池，包含：?

基材；?

在該基材的表面上的多個金屬催化劑的區域；?

多個碳納米管束狀物，形成于多個金屬催化劑的區域上，每一束狀物包括多個大略垂直于該基材的表面而對準的碳納米管；以及?

第一光活性太陽能電池層，形成于這些碳納米管束狀物上及該基材的暴露表面上，其中該第一光活性太陽能電池層在這些碳納米管束狀物上及該基材的暴露表面上是連續的。?

2.如權利要求1所述的太陽能電池，其中每一個束狀物是由選擇性地沉積在每個這些碳納米管上的材料來強化的，該第一光活性太陽能電池層是形成于該多個經強化的碳納米管束狀物上。?

3.如權利要求2所述的太陽能電池，其中所述材料是電沉積的金屬。?

4.如權利要求2所述的太陽能電池，其中所述材料是從氣相中催化地沉積的。?

5.如權利要求1所述的太陽能電池，其中該基材包括位于該基材的表面處的導電層。?

6.如權利要求1所述的太陽能電池，進一步包含：?

導電層，位于該基材的表面上，該導電層與該多個碳納米管束狀物電連接在一起。?

7.如權利要求1所述的太陽能電池，其中該光活性太陽能電池層與這些碳納米管束狀物共形。?

8.如權利要求1所述的太陽能電池，其中該第一光活性太陽能電池層包括p型、本征型、及n型的非晶硅的薄膜。?

9.如權利要求1所述的太陽能電池，其中該第一光活性太陽能電池層包括p型、本征型、及n型的微晶硅的薄膜。?

10.如權利要求1所述的太陽能電池，其中該第一光活性太陽能電池層包括選自硒化銅銦，硒化銅銦鎵，以及碲化鎘構成的組的材料。?

11.如權利要求1所述的太陽能電池，其中該多個碳納米管束狀物是彼此分開的，且分開的平均距離介于1和2微米之間。?

12.如權利要求1所述的太陽能電池，進一步包含：?

第二光活性太陽能電池層，該第二光活性太陽能電池層在該第一光活性太陽能電池層上是連續的。?

13.一種用于形成太陽能電池的設備，包含：?

第一系統，被配置成形成多個金屬催化劑的區域于基材的表面上；?

第二系統，被配置成生長多個碳納米管束狀物于所述多個金屬催化劑的區域上，每一束狀物包括多個大略垂直于該基材的表面而對準的碳納米管；以及?

第三系統，被配置成沉積連續光活性太陽能電池層于所述多個碳納米管束狀物上。?

14.如權利要求13所述的設備，其中所述第一系統被配置成：沉積多個球體于所述基材表面上；沉積金屬催化劑于基材表面上所覆蓋的這些球體上；以及移除這些球體，從而使金屬催化劑島狀物留在所述基材表面上。?

15.如權利要求13所述的設備，其中所述第一系統被配置成：沉積金屬催化劑薄膜于所述基材表面上；以及退火該金屬催化劑薄膜以在所述基材表面上形成金屬催化劑納米粒子。?

16.如權利要求13所述的設備，其中所述第二系統包括用于生長所述碳納米管束狀物的熱燈絲化學氣相沉積工具。?

17.如權利要求13所述的設備，其中所述第二系統包括用于在沉積所述連續光活性太陽能電池層之前在每個所述碳納米管束狀物上選擇性地沉積強化材料的工具。?

18.如權利要求17所述的設備，其中所述第二系統包括用于從氣相中催化地沉積所述強化材料的工具。?

19.如權利要求17所述的設備，其中所述第二系統包括用于沉積所述強化材料的電沉積工具。?

20.如權利要求13所述的設備，其中所述第三系統包括用于沉積所述連續光活性太陽能電池層的熱燈絲化學氣相沉積工具。?