[發明專利]彎曲換能器、微型泵和微型閥的制造方法以及微型泵和微型閥

有效

• 申請號: 201080066584.2
• 申請日: 2010-03-05
• 公開（公告）號: CN102884352A
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 馬丁·里希特;馬丁·瓦克爾勒;馬庫斯·赫茨
• 申請（專利權）人: 弗蘭霍菲爾運輸應用研究公司
• 主分類號: F16K99/00
• 分類號: F16K99/00;F04B43/04;H01L41/09
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

1.一種制造彎曲換能器的方法，所述彎曲換能器包括驅動構件和膜片，所述方法包括：

提供（1010）膜片（110）和驅動構件（210）；以及

在所述驅動構件和所述膜片（110）接合期間施加（1020）生產信號（U_生產）于所述驅動構件（210），使得在接合之后，所述驅動構件被預加應力，其中，所述生產信號為與操作所述彎曲換能器的操作信號相同的類型。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，所述生產信號（U_生產）僅在接合已經終止之后釋放。

3.根據權利要求1或2所述的方法，其中，借助于設置于所述驅動構件和所述膜片之間的接合材料來執行接合，以及其中，所述生產信號僅在所述接合材料硬化之后釋放。

4.根據權利要求2或3所述的方法，其中，所述接合材料為膠水或者焊接材料。

5.根據權利要求2至4中任一項所述的方法，包括：

在所述驅動構件和所述膜片接合期間將所述驅動構件按壓至所述膜片（110），其中，所述按壓僅在所述接合材料硬化之后終止。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的方法，其中，所述生產信號使得所述驅動構件（210）在接合期間處于收縮狀態。

7.根據權利要求1至6中任一項所述的方法，其中，所述生產信號使得在接合之后所述彎曲換能器（110、210）呈現預鼓起形狀，相對于所述驅動構件和所述膜片之間的接合表面在所述驅動構件的方向上預鼓起。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的方法，其中，所述驅動構件（210）為壓電驅動構件，所述生產信號（U_生產）為生產電壓。

9.根據權利要求1至8中任一項所述的方法，其中，所述膜片（110）的溫度系數大于所述驅動構件（210）的溫度系數，其中，在比隨后操作所述驅動構件的操作溫度更高的生產溫度下執行所述驅動構件（210）和所述膜片（110）的接合，并且所述生產信號使得所述驅動構件（210）在接合期間處于收縮狀態。

10.根據權利要求9所述的方法，其中，所述驅動構件（210）為壓電驅動構件（210），所述生產信號為正生產電壓（U_生產），以及其中，所述膜片（110）包括金屬或者合成材料。

11.根據權利要求1至8中任一項所述的方法，其中，所述膜片（110）的溫度系數小于所述驅動構件（210）的溫度系數，其中，在比隨后操作所述驅動構件的操作溫度更高的生產溫度下執行所述驅動構件（210）和所述膜片（110）的接合，并且所述生產信號使得通過施加所述生產信號實現的第一類型預加應力過補償通過不同溫度系數實現的第二類型預加應力，所述第二類型預加應力與所述第一類型預加應力相反。

12.根據權利要求11所述的方法，其中，所述驅動構件為壓電驅動構件，所述生產信號為正生產電壓（U_生產），以及其中，所述膜片包括半導體材料。

13.一種用于制造微型泵的方法，所述微型泵包括：彎曲換能器，具有膜片（110）和驅動構件（210），其中，所述膜片形成泵膜片，并且適用于通過所述驅動構件在第一鼓起位置和第二較少鼓起位置之間移動；以及泵本體（120），連接至所述泵膜片，以界定所述泵本體與所述泵膜片之間的泵室；所述方法包括：

通過根據權利要求1至12中任一項所述的方法來制造所述彎曲換能器（110、210），使得當所述驅動構件未致動時，所述泵膜片在所述第一鼓起位置中呈現預鼓起形狀。

14.一種用于制造微型閥的方法，所述微型閥包括：彎曲換能器，具有膜片和驅動構件，其中，所述膜片形成閥膜片，并且適用于通過所述驅動構件在第一位置和第二位置之間移動，以打開或關閉所述微型閥；所述方法包括：

通過根據權利要求1至12中任一項所述的方法來制造所述彎曲換能器。

15.根據權利要求14所述的方法，其中，所述第一位置為鼓起位置，并且所述第二位置為較少鼓起位置，以及其中，所述制造被執行為使得當所述驅動構件未致動時，所述閥膜片在所述第一鼓起位置中呈現預鼓起形狀。