[發(fā)明專利]用于介電阻擋地進行等離子體處理的電極裝置和用于對表面進行等離子體處理的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201080062216.0
• 申請日: 2010-12-22
• 公開（公告）號: CN102711909A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發(fā)明（設計）人: D·萬德克;M·則格爾;L·特魯特威格
• 申請（專利權）人: 奇諾格有限責任公司
• 主分類號: A61N1/40
• 分類號: A61N1/40;A61N1/44;H05H1/24
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 曾立

1.用于對導電體的用作反電極且不規(guī)則地三維成形的表面介電阻擋地進行等離子體處理的電極裝置，其具有面狀的電極(1)和電介質(2，3)，所述電介質被構造用于相對于待處理的表面以確定的間距布置以形成冷等離子體，其特征在于，所述電介質(2，3)通過柔性的面狀材料構成，所述材料在其向著待處理表面的側上設有一結構(4)，以便當所述電介質(2，3)敷設在待處理的表面上時形成空氣引導區(qū)域(7)；所述面狀的電極(1)柔性地構成并且這樣地固定在所述所述電介質(2，3)上，使得所述電介質(2，3)的層(2)將所述電極(1)與待處理的表面隔離。

2.根據權利要求1所述的電極裝置，其特征在于，所述面狀的電極(1)埋入到所述電介質(2，3)中并且能夠與一從所述電介質(2，3)導出的接頭接觸接通。

3.根據權利要求2所述的電極裝置，其特征在于，所述面狀的電極在所有側上埋入到所述電介質(2，3)中。

4.根據權利要求1至3之一所述的電極裝置，其特征在于，所述電介質(2，3)被構造用于貼靠在生物的皮膚上。

5.根據權利要求1至4之一所述的電極裝置，其特征在于，所述電極(1)通過柔性的金屬絲格柵構成。

6.根據權利要求1至5之一所述的電極裝置，其特征在于，所述電極(1)由碳纖維或碳纖維編織物構成。

7.根據權利要求1至6之一所述的電極裝置，其特征在于，所述電介質(2，3)的結構(4)一體地構造在所述電介質(2，3)的層(2)中，所述層將所述電極(1)與待處理的表面隔離。

8.根據權利要求1至6之一所述的電極裝置，其特征在于，所述結構(4)作為單獨構成的覆層與所述電介質(2，3)的層(2)連接，所述層將所述電極(1)與待處理的表面隔離。

9.根據權利要求1至8之一所述的電極裝置，其特征在于，所述結構(4)由突出的凸瘤(5)構成，所述凸瘤形成透氣的中間空間(6)。

10.根據權利要求9所述的電極裝置，其特征在于，所述凸瘤(5)構造為圓柱形、錐形或截錐形。

11.用于借助于根據權利要求1至10之一所述的電極裝置對表面進行等離子體處理的方法，其特征在于，面狀的電極裝置利用所述電介質(2，3)的向著所述表面構成的結構敷設在所述表面上并且適配于所述表面的輪廓。

12.根據權利要求11所述的方法，其特征在于，所述電極裝置敷設在不規(guī)則地三維成形的表面上。