[發(fā)明專利]固態(tài)圖像拾取裝置及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201080058403.1
• 申請(qǐng)日: 2010-12-20
• 公開（公告）號(hào): CN102668080A
• 公開（公告）日: 2012-09-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小林昌弘;板橋政次;札場(chǎng)哲也;小林秀央
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 佳能株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L27/14
• 分類號(hào): H01L27/14;H04N5/369
• 代理公司: 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 羅銀燕

1.一種固態(tài)圖像拾取裝置，包括：

多個(gè)光電轉(zhuǎn)換單元，被設(shè)置在半導(dǎo)體基板中；

第一平坦化層，被設(shè)置在光入射的半導(dǎo)體基板的第一主表面?zhèn)龋?/p>

濾色器層，被設(shè)置在第一平坦化層上并包含濾色器，所述濾色器中的每一個(gè)對(duì)于相應(yīng)的光電轉(zhuǎn)換單元被設(shè)置；以及

第二平坦化層，被設(shè)置在濾色器層上，并減小濾色器之間的高度差，

其中，間隙被設(shè)置在與濾色器層中的鄰近濾色器之間的邊界對(duì)應(yīng)的位置中，間隙延伸到第二平坦化層，并且用于密封間隙的密封層被設(shè)置在間隙和第二平坦化層上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的固態(tài)圖像拾取裝置，其中，多個(gè)布線層被設(shè)置在半導(dǎo)體基板的第二主表面?zhèn)龋龅诙鞅砻鎮(zhèn)扰c半導(dǎo)體基板的第一主表面?zhèn)认喾础?/p>

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2的固態(tài)圖像拾取裝置，其中，遮光部分被設(shè)置在半導(dǎo)體基板和濾色器層之間，并且間隙在遮光部分上的垂直投影的一部分與遮光部分重疊。

4.根據(jù)權(quán)利要求3的固態(tài)圖像拾取裝置，其中，遮光部分的保護(hù)層被設(shè)置在遮光部分上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)的固態(tài)圖像拾取裝置，其中，間隙被形成為具有向上凸起的形狀。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)的固態(tài)圖像拾取裝置，其中，間隙被形成為具有漸縮形狀。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)的固態(tài)圖像拾取裝置，其中，用于相應(yīng)的光電轉(zhuǎn)換單元的微透鏡被設(shè)置在第二平坦化層上。

8.一種固態(tài)圖像拾取裝置的制造方法，所述方法包括：

在半導(dǎo)體基板中形成多個(gè)光電轉(zhuǎn)換單元；

在光入射的半導(dǎo)體基板的第一主表面?zhèn)刃纬傻谝黄教够瘜樱?/p>

在第一平坦化層上形成濾色器層，濾色器層包含濾色器，所述濾色器中的每一個(gè)對(duì)于相應(yīng)的光電轉(zhuǎn)換單元被設(shè)置；

在濾色器層上形成第二平坦化層，第二平坦化層減小濾色器之間的高度差；

在與濾色器層中的鄰近濾色器之間的邊界對(duì)應(yīng)的位置中形成間隙，間隙貫通第二平坦化層和濾色器層；以及

在間隙和第二平坦化層上形成密封層。

9.根據(jù)權(quán)利要求8的固態(tài)圖像拾取裝置的制造方法，所述方法還包括：

在光入射的半導(dǎo)體基板的第一主表面上形成遮光部分，層絕緣膜被設(shè)置在半導(dǎo)體基板和遮光部分之間，

其中，遮光部分用作通過蝕刻形成間隙時(shí)的蝕刻停止膜。

10.根據(jù)權(quán)利要求8的固態(tài)圖像拾取裝置的制造方法，所述方法還包括：

在光入射的半導(dǎo)體基板的第一主表面上形成遮光部分，層絕緣膜被設(shè)置在半導(dǎo)體基板和遮光部分之間；以及

在遮光部分上形成遮光部分的保護(hù)層，

其中，遮光部分的保護(hù)層用作通過蝕刻形成間隙時(shí)的蝕刻停止膜。