[發明專利]真空泵有效
| 申請號： | 201080057905.2 | 申請日： | 2010-09-09 |
| 公開（公告）號： | CN102648351A | 公開（公告）日： | 2012-08-22 |
| 發明（設計）人： | M.E.托爾納 | 申請（專利權）人： | 愛德華茲有限公司 |
| 主分類號： | F04D19/04 | 分類號： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周春梅 |
| 地址： | 英國西薩*** | 國省代碼： | 英國;GB |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 真空泵 | ||
1.一種真空泵，包括：
渦輪分子泵送機構，所述渦輪分子泵送機構與Siegbahn泵送機構串聯；
第一泵入口，氣體借助所述第一泵入口能夠傳送經過所述渦輪分子泵送機構和所述Siegbahn泵送機構；以及
級間入口，氣體借助所述級間入口能夠在所述渦輪分子泵送機構和所述Siegbahn泵送機構之間的位置處進入所述泵并且僅傳送經過所述Siegbahn泵送機構；
其中，所述Siegbahn泵送機構的多個第一級中的流動通道與所述級間入口流體連通，并且通過所述級間入口進入所述泵的氣體沿所述流動通道被平行泵送。
2.根據權利要求1所述的真空泵，其中，所述Siegbahn泵送機構的第一級和第二級中的流動通道與所述級間入口流體連通，借助所述級間入口進入所述泵的氣體沿所述流動通道被平行泵送。
3.根據權利要求1所述的真空泵，其中，在使用中，流體沿所述流動通道從在與所述級間入口接近的徑向向外位置處的流動通道的相應入口被泵送到在所述徑向向內位置處的相應出口。
4.根據前述權利要求中任一項所述的真空泵，其中，級間進入氣和所述渦輪分子泵送機構的排出氣能夠借助所述Siegbahn泵送機構在不同的壓力下被獨立地泵送。
5.根據權利要求4所述的真空泵，其中，所述Siegbahn泵送機構的所述第一級中的一個或多個流動通道構造用于泵送所述級間進入氣，并且在所述第一級中的一個或多個流動通道構造用于泵送所述渦輪分子泵送機構的排出氣。
6.根據權利要求4所述的真空泵，其中，所述Siegbahn泵送機構的多個所述第一級的每個中的一個或多個流動通道構造用于泵送所述級間進入氣，并且在多個所述第一級的每個中的一個或多個流動通道構造用于泵送所述渦輪分子泵送機構的排出氣。
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