[發明專利]用于操作工業過程的方法

有效

• 申請號: 201080057477.3
• 申請日: 2010-12-10
• 公開（公告）號: CN102656661A
• 公開（公告）日: 2012-09-05
• 發明（設計）人: C·托默;M·格呂克
• 申請（專利權）人: 許廷格電子兩合公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H05B6/02;H05H1/46;H02M1/32
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 張偉;王英

1.一種用于在脈沖功率輸出操作中對等離子裝置、感應加熱裝置或激光激發裝置進行操作的方法，在功率輸出時間段ΔT₁內產生第一功率P_OUT1.1，并且將所述第一功率P_OUT1.1在功率發生器的功率輸出端處釋放，以將功率供應給等離子過程、感應加熱過程或激光激發過程，并且通過控制所述功率發生器的至少一個半導體開關元件（9），在脈沖中斷時間段ΔT₂內在所述功率發生器的所述功率輸出端不輸出適于等離子過程、感應過程或激光激發過程的觸發或操作的功率P_OUT2.1，在所述功率輸出時間段ΔT₁期間在產生所述第一功率P_OUT1.1的同時在所述至少一個半導體開關元件（9）中產生第一功耗P_V1，在所述脈沖中斷時間段ΔT₂期間在所述至少一個半導體開關元件（9）中產生第二功耗P_V2，并且將產生的所述功耗P_V1、P_V2轉換成熱量，通過對所述半導體開關元件的適當控制，防止了所述半導體開關元件（9）的溫度下降超過預定值，并且所述功率輸出操作和所述脈沖中斷操作持續交替。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述功率輸出時間段和所述脈沖中斷時間段以由所述等離子裝置、所述感應加熱裝置或所述激光激發裝置預先確定的頻率fp來交替。

3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，在所述功率輸出時間段期間，以頻率fn產生交流功率，其中fn>fp。

4.根據權利要求2或權利要求3所述的方法，其特征在于，fp在0.01Hz到50kHz的范圍內。

5.根據任意一個前述權利要求所述的方法，其特征在于，根據所述第一功率P_OUT1.1的預定值或測量值來建立所述第一功耗P_V1，基于建立的所述第一功耗P_V1來確定要被調整的所述第二功耗P_V2，并且控制所述至少一個半導體開關元件（9）以產生所述第二功耗P_V2。

6.根據任意一個前述權利要求所述的方法，其特征在于，通過與從數據存儲器（34）讀取的所述功率P_OUT1.1相關聯的值來確定所述第一功耗P_V1。

7.根據任意一個前述權利要求所述的方法，其特征在于，基于下面的值中的一個或多個值來調整所述第二功耗P_V2：

-所述功率輸出時間段ΔT₁的持續時間

-所述脈沖中斷時間段ΔT₂的持續時間

-所述功率隨時間的變化

-所述半導體開關元件中的所述功耗隨時間的變化

-所建立的溫度或溫度曲線

-所建立的電壓值或電壓曲線

-所建立的電流值或電流曲線

-所述功率的曲線的時間導數、所述半導體開關元件中的所述功耗的時間導數、所述溫度曲線的時間導數、所述電壓曲線的時間導數或所述電流曲線的時間導數。

8.根據任意一個前述權利要求所述的方法，其特征在于，所述第二功耗P_V2的大小與所述第一功耗P_V1的大小相同。

9.根據任意一個前述權利要求所述的方法，其特征在于，在所述功率輸出時間段ΔT₁期間控制所述至少一個半導體開關元件（9、10）幾次進入導通狀態和截止狀態，在所述導通狀態，所述至少一個半導體開關元件（9、10）具有開關電阻R_on，在所述截止狀態，所述至少一個半導體開關元件（9、10）具有截止電阻R_off，并且在所述脈沖中斷時間段ΔT₂期間，將所述至少一個半導體開關元件至少暫時性地切換到部分導通狀態，在所述部分導通狀態，所述至少一個半導體開關元件（9、10）具有過渡電阻R_v，通過R_on<R_v以及R_v<R_off來給定所述電阻。