[發(fā)明專(zhuān)利]陶瓷產(chǎn)品及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201080057034.4
• 申請(qǐng)日: 2010-11-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102656433A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-09-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 安德烈·貝林格爾;武爾費(fèi)特·德魯斯;安德烈亞斯·羅斯貝格;德特勒夫·施萊弗布克;埃爾克·施密特
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 恩德萊斯和豪瑟爾兩合公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01L9/00
• 分類(lèi)號(hào): G01L9/00;C04B37/00;C04B35/00
• 代理公司: 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 關(guān)兆輝;謝麗娜

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種陶瓷產(chǎn)品，特別地一種陶瓷壓力傳感器，及其制造方法。陶瓷壓力傳感器包括平臺(tái)和測(cè)量膜，其中借助活性硬焊料（hard?solder）或者硬釬料（braze）接合測(cè)量膜。用于接合由剛玉制成的陶瓷部分的適當(dāng)?shù)幕钚杂埠噶匣蛘哂测F料例如是Zr-Ni-Ti合金，因?yàn)樗臒崤蛎浵禂?shù)與剛玉相當(dāng)。在實(shí)踐中，證明了難以利用活性硬焊料或者釬焊控制陶瓷材料的浸潤(rùn)，其中必須超過(guò)預(yù)期接合程度地在活性硬焊料或者釬焊的非完全的浸潤(rùn)和散布之間找到平衡。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的因此在于提供克服了現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)的一種方法和根據(jù)這種方法制造的陶瓷產(chǎn)品。

根據(jù)本發(fā)明通過(guò)如在權(quán)利要求1中限定的方法和如在權(quán)利要求6中限定的陶瓷產(chǎn)品的特征實(shí)現(xiàn)了該目的。

本發(fā)明的方法包括：提供第一陶瓷部分和第二陶瓷部分；在第一陶瓷部分和第二陶瓷部分之間提供活性硬焊料或者硬釬料材料；并且，在釬焊（soldering）/硬釬焊（brazing）過(guò)程中加熱活性硬焊料或者硬釬料，其中，根據(jù)本發(fā)明，以如下方式提供活性硬焊料或者硬釬料材料：使得首先利用活性硬焊料或者硬釬料的至少一種活性成分涂覆陶瓷部分中的至少一個(gè)的至少一個(gè)表面區(qū)段，并且在受涂覆區(qū)段上提供合金，通過(guò)在加熱期間熔化該合金，該合金與涂層合金化并且在兩個(gè)陶瓷部分之間形成金屬接頭，其中至少該活性成分與陶瓷部分反應(yīng)。

釬焊/硬釬焊過(guò)程可以特別地是真空釬焊/硬釬焊過(guò)程或者伴隨保護(hù)性氣體執(zhí)行的釬焊/硬釬焊過(guò)程。

在本發(fā)明進(jìn)一步的改進(jìn)中，兩個(gè)陶瓷部分中的每一個(gè)均至少在表面區(qū)段中涂覆有活性硬焊料或者硬釬料的至少一種活性成分，并且將合金設(shè)置在第一陶瓷部分和第二陶瓷部分的受涂覆區(qū)段之間。

在本發(fā)明進(jìn)一步的改進(jìn)中，具有該至少一種活性成分的涂層具有不小于10nm，特別地不小于40nm，并且優(yōu)選地不小于80nm的厚度。

在本發(fā)明進(jìn)一步的改進(jìn)中，具有該至少一種活性成分的涂層具有不大于400nm，特別地不大于300nm，并且優(yōu)選地不大于200nm的厚度。

該至少一種活性成分特別地包括鈦或者鋯，其中該接頭包括Zr-Ni-Ti合金。在本發(fā)明進(jìn)一步的改進(jìn)中，該至少一個(gè)涂層包含Zr和Ti。

根據(jù)本發(fā)明進(jìn)一步的改進(jìn)，陶瓷部分中的至少一個(gè)包括剛玉。

在本發(fā)明進(jìn)一步的改進(jìn)中，陶瓷部分包括壓力傳感器的測(cè)量膜和平臺(tái)。

本發(fā)明的陶瓷產(chǎn)品包括第一陶瓷部分和第二陶瓷部分，其中第一陶瓷部分經(jīng)由接頭與第二陶瓷部分連接，其中該接頭包括活性硬焊料或者硬釬料，其中該接頭具有活性硬焊料或者硬釬料的成分的非均質(zhì)分布，其中至少朝向界面，活性硬焊料或者硬釬料的該至少一種活性成分是濃縮的。

在本發(fā)明進(jìn)一步的改進(jìn)中：

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